تتراوح سماكة الترسيب الفيزيائي للبخار الرقيق (PVD) عادةً من بضعة نانومترات إلى حوالي 100 ميكرومتر، مع نطاق شائع أقل من 1000 نانومتر (1 ميكرون). وتعد هذه السماكة ضرورية لتحقيق خصائص بصرية وكهربائية وميكانيكية محددة تختلف عن تلك الخاصة بالمادة السائبة.
نطاق السماكة:
يمكن أن تتفاوت سماكة الأغشية الرقيقة في تقنية PVD بشكل كبير، بدءًا من المستوى الذري حيث يتم ترسيب ذرات أو جزيئات فردية. ويمكن أن ينتج عن ذلك أغشية رقيقة تصل سماكتها إلى بضعة نانومترات. وعلى الطرف الأعلى، يمكن أن يصل السُمك إلى 100 ميكرومتر، على الرغم من أن الأغشية في العديد من التطبيقات تكون أرق بكثير، وغالبًا ما تكون أقل من 1 ميكرون. يسمح هذا النطاق بالتحكم الدقيق في خصائص الفيلم، مثل الشفافية والتوصيلية والصلابة.طرق الترسيب:
يتضمن الترسيب الفيزيائي للبخار ترسيب بخار المادة في بيئة منخفضة الضغط. وتتضمن التقنيات المستخدمة في الترسيب الفيزيائي بالبخار الفيزيائي الترسيب بالرش والتبخير الحراري والتبخير بالحزمة الإلكترونية والترسيب النبضي بالليزر وغيرها. ولكل طريقة مزاياها الخاصة ويتم اختيارها بناءً على الخصائص المرغوبة للفيلم النهائي. على سبيل المثال، غالبًا ما يُستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية لترسيب أغشية عالية النقاء، بينما يمكن أن يوفر التبخير بالتبخير الحراري التصاقًا وتوحيدًا ممتازين.
أهمية النحافة:
رقة الفيلم أمر بالغ الأهمية لأنها تؤثر بشكل مباشر على خصائص الفيلم. على سبيل المثال، في تصنيع أشباه الموصلات، تكون الأغشية الرقيقة جداً ضرورية في تصنيع أشباه الموصلات لضمان التوصيل الكهربائي الفعال دون إضافة كتلة أو وزن كبير. في التطبيقات البصرية، قد يتم تصميم الأغشية الرقيقة لتعكس أو تنقل أطوال موجية محددة من الضوء، وهو أمر لا يمكن تحقيقه إلا من خلال التحكم الدقيق في السماكة.
تصوّر السُمك الرقيق:
