الترسيب بالترسيب الرذاذي هو تقنية ترسيب بالبخار الفيزيائي (PVD) متعددة الاستخدامات تُستخدم لتشكيل الأغشية الرقيقة. وهي تنطوي على استخدام البلازما الكهربائية لقذف الذرات من مادة مستهدفة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. وتعد هذه الطريقة مفيدة بسبب دقتها وقدرتها على ترسيب مواد مختلفة والحد الأدنى من توليد الحرارة.
ملخص الإجابة:
الترسيب بالترسيب بالرش هو طريقة ترسيب بالترسيب بالرش الضوئي بتقنية PVD حيث يتم قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة لإطلاق ذرات يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة. تشتهر هذه التقنية بدقتها وتستخدم على نطاق واسع في مختلف الصناعات، بما في ذلك الإلكترونيات والبصريات والتصنيع.
-
الشرح:
- آلية الترسيب بالترسيب الاخرق:
-
على عكس الطرق الأخرى للترسيب بالترسيب بالرش بالرش الضوئي التي تعتمد على التبخير الحراري، يستخدم الترسيب بالرش بالرش البلازما الكهربائية لتوليد أيونات تصطدم بالمادة المستهدفة. يطلق هذا التصادم ذرات من الهدف، والتي تنتقل وتترسب على الركيزة. ويتضمن الإعداد عادةً كاثود سالب الشحنة (المادة المستهدفة) وأنود موجب الشحنة (الركيزة)، مع استخدام غاز الأرجون لتسهيل تكوين البلازما.
- مزايا ترسيب الاخرق:تعدد استخدامات المواد:
- يمكن للترسيب بالترسيب الاخرق ترسيب العناصر والسبائك والمركبات، مما يجعله مناسبًا لمجموعة واسعة من التطبيقات.الدقة والتحكم:
- تسمح الطاقة الحركية العالية لجسيمات القصف بالتحكم الدقيق في عملية الترسيب، مما يضمن سماكة موحدة ويمكن التحكم فيها للفيلم.توليد الحد الأدنى من الحرارة:
- على عكس طرق التبخير الحراري، يولد الرش بالرشّ القليل جداً من الحرارة المشعة، وهو أمر مفيد للركائز الحساسة.الترسيب التفاعلي:
-
في بعض التكوينات، يمكن إدخال غازات تفاعلية في البلازما، مما يسمح بترسيب مركبات يصعب تحقيقها بوسائل أخرى.
- تطبيقات ترسيب الاخرق:الإلكترونيات:
- وشملت التطبيقات المبكرة إنتاج الأقراص الصلبة للكمبيوتر، ويستخدم الآن على نطاق واسع في معالجة الدوائر المتكاملة.البصريات:
- يستخدم لإنتاج الزجاج المغلف بأفلام مضادة للانعكاس أو ذات انبعاثية عالية.التصنيع:
-
يستخدم في طلاء أدوات القطع وطلاء الأقراص المدمجة وأقراص الفيديو الرقمية.
- التفاصيل الفنية:إنتاجية الاخرق:
يتم قياس كفاءة عملية الاصطرار من خلال مردود الاصطرار، والذي يعتمد على نقل الطاقة وكتلة الذرة والأيون المستهدفين وطاقة الارتباط السطحي لذرات الهدف. ويحدد هذا المردود عدد الذرات المقذوفة من الهدف لكل أيون ساقط.
وفي الختام، يُعدّ الترسيب بالرشّ طريقة شديدة التحكم ومتعددة الاستخدامات لترسيب الأغشية الرقيقة، حيث توفر تحكمًا دقيقًا في خصائص الفيلم وسماكته. وتمتد تطبيقاتها عبر مختلف الصناعات، مستفيدة من قدرتها على ترسيب مجموعة واسعة من المواد بأقل تأثير حراري.
