عادةً ما يتم الحفاظ على مستوى التفريغ في المبخر الحراري عند ضغط 10^-5 تور أو أقل. وتعد بيئة التفريغ العالية هذه ضرورية لعملية التبخير الحراري، مما يضمن أن يكون المسار الحر المتوسط للجزيئات المتبخرة طويلًا بما فيه الكفاية لمنع التصادمات مع جزيئات الغاز في الغرفة، مما قد يؤثر سلبًا على جودة الفيلم المترسب.
الشرح:
-
أهمية الفراغ في التبخير الحراري:
-
التبخير الحراري هو عملية يتم فيها تسخين المواد في حجرة مفرغة من الهواء حتى تكتسب ذرات سطحها طاقة كافية لمغادرة السطح والترسيب على الركيزة. وتعد بيئة التفريغ ضرورية لأنها تسمح للذرات أو الجزيئات المتبخرة بالانتقال من المصدر إلى الركيزة دون تصادمات كبيرة، مما يحافظ على سلامة اتجاهها وبالتالي جودة الطلاء.مستويات التفريغ المثلى:
-
عادةً ما يكون مستوى التفريغ الأمثل للتبخير الحراري حوالي 10^-5 تور. عند هذا الضغط، يبلغ متوسط المسار الحر للجزيئات حوالي 1 متر تقريبًا، وهو ما يكفي لمعظم إعدادات التبخير الحراري حيث تتراوح المسافة بين مصدر التبخير والركيزة من 200 مم إلى متر واحد. وهذا يضمن أن الجزيئات المتبخرة يمكن أن تقطع المسافة دون انحراف كبير عن مسارها بسبب التصادمات.
-
إعداد نظام التفريغ:
غالبًا ما تستخدم المبخرات الحرارية الحديثة مضخات جزيئية توربينية قادرة على تحقيق هذه الضغوط المنخفضة بسرعة وكفاءة. وعادةً ما تكون هذه المضخات مدعومة بمضخات ريشة دوارة أو مضخات لفافة جافة أو مضخات جذور متعددة المراحل، والتي تساعد على إخلاء الغرفة من الضغط الجوي إلى الضغط الأساسي المطلوب للتشغيل. تم تصميم الإعداد لتقليل الحطام من السقوط في المضخة والحفاظ على بيئة تفريغ نظيفة وفعالة.
التحكم والمراقبة:
