عادةً ما يتم الحفاظ على مستوى التفريغ في المبخر الحراري عند ضغط 10^-5 تور أو أقل.
وتعد بيئة التفريغ العالية هذه ضرورية لعملية التبخر الحراري.
فهي تضمن أن يكون المسار الحر المتوسط للجزيئات المتبخرة طويل بما فيه الكفاية لمنع التصادمات مع جزيئات الغاز في الغرفة.
وهذا يمنع أي آثار سلبية على جودة الفيلم المترسب.
ما هو مستوى تفريغ المبخر الحراري؟ (شرح 4 نقاط رئيسية)
1. أهمية التفريغ في التبخير الحراري
التبخير الحراري هو عملية يتم فيها تسخين المواد في غرفة مفرغة من الهواء حتى تكتسب ذراتها السطحية طاقة كافية لمغادرة السطح والترسيب على الركيزة.
وتعد بيئة التفريغ ضرورية لأنها تسمح للذرات أو الجزيئات المتبخرة بالانتقال من المصدر إلى الركيزة دون تصادمات كبيرة.
وهذا يحافظ على سلامة اتجاهها وبالتالي جودة الطلاء.
2. مستويات التفريغ المثلى
يبلغ مستوى التفريغ الأمثل للتبخير الحراري عادةً حوالي 10^-5 تور.
وعند هذا الضغط، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات حوالي 1 متر تقريبًا.
وهذا يكفي لمعظم إعدادات التبخير الحراري حيث تتراوح المسافة بين مصدر التبخير والركيزة من 200 مم إلى متر واحد.
وهذا يضمن أن الجزيئات المتبخرة يمكن أن تقطع المسافة دون انحراف كبير عن مسارها بسبب التصادمات.
3. إعداد نظام التفريغ
غالبًا ما تستخدم المبخرات الحرارية الحديثة مضخات جزيئية توربينية قادرة على تحقيق هذه الضغوط المنخفضة بسرعة وكفاءة.
وعادةً ما تكون هذه المضخات مدعومة بمضخات ريشة دوارة أو مضخات لفافة جافة أو مضخات جذور متعددة المراحل.
تساعد هذه المضخات على إخلاء الغرفة من الضغط الجوي إلى الضغط الأساسي المطلوب للتشغيل.
تم تصميم الإعداد لتقليل الحطام من السقوط في المضخة والحفاظ على بيئة تفريغ نظيفة وفعالة.
4. التحكم والمراقبة
التحكم النشط في مستوى التفريغ أمر بالغ الأهمية لزيادة كفاءة العملية والحفاظ على ظروف عمل آمنة.
ويتم تحقيق ذلك من خلال أدوات التحكم الإلكترونية في التفريغ التي تضبط مستوى التفريغ إلى الإعداد الأمثل.
بالإضافة إلى ذلك، غالبًا ما يتم استخدام مصراع للتحكم في عملية الترسيب، مما يضمن عدم تغليف الغرفة باستمرار أثناء مراحل تسخين أو تبريد المادة المتبخرة.
تُستخدم أيضًا أجهزة مراقبة الأغشية الرقيقة لقياس سُمك الطبقة المترسبة والتحكم فيها، مما يضمن قابلية التكرار وجودة الطلاء.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الدقة والأداء الذي توفره المبخرات الحرارية من KINTEK SOLUTION لمختبرك.
من خلال مضخاتنا التوربينية المتقدمة وأنظمة التفريغ الفعالة لدينا، يمكنك تحقيق مستويات تفريغ مثالية تبلغ 10^-5 تور أو أقل لترسيب الأغشية الرقيقة التي لا مثيل لها.
ثق بشركة KINTEK SOLUTION للارتقاء بأبحاثك وإنتاجك من خلال حلول مبتكرة مصممة خصيصًا للتميز في التبخير الحراري.
ارتقِ بقدرات مختبرك - اختر KINTEK SOLUTION للحصول على تقنية تفريغ من الدرجة الأولى.
