الترسيب بالتبخير الحراري هو طريقة مستخدمة في الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) لإنشاء أغشية رقيقة على ركيزة. تتضمن هذه العملية تسخين المادة في غرفة تفريغ عالية إلى درجة حرارة عالية، مما يؤدي إلى تبخيرها ثم تكثيفها على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة.
ملخص الإجابة:
الترسيب بالتبخير الحراري هو تقنية PVD حيث يتم تسخين المادة في غرفة تفريغ الهواء لتتبخر ثم تتكثف على ركيزة لتكوين طبقة رقيقة. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في الصناعات لتطبيقات مثل إنشاء طبقات الترابط المعدني في الخلايا الشمسية وترانزستورات الأغشية الرقيقة وشبكات OLED.
-
الشرح التفصيلي:إعداد العملية:
-
تبدأ العملية بغرفة تفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، تحتوي على بوتقة أو قارب مصنوع من مواد حرارية مثل التنجستن أو الموليبدينوم. توضع المادة المراد ترسيبها (المبخر) داخل هذه البوتقة.
-
التسخين والتبخير:
-
يتم تسخين المادة باستخدام التسخين المقاوم إلى درجات حرارة عالية جداً، مما يؤدي إلى تبخيرها. هذه الحرارة العالية ضرورية للتغلب على ضغط بخار المادة، مما يسمح لها بالتبخر بكفاءة.النقل والترسيب:
-
تشكل المادة المتبخرة بخارًا ينتقل عبر غرفة التفريغ ويرسب على سطح الركيزة. وتُعد بيئة التفريغ مهمة للغاية لأنها تمنع البخار من التفاعل مع جزيئات الهواء، مما يضمن ترسيبًا نظيفًا.
-
التكثيف وتكوين الغشاء:
بمجرد وصول البخار إلى الركيزة، يتكثف لتشكيل طبقة رقيقة صلبة. ويمكن التحكم في سمك وتوحيد الطبقة عن طريق ضبط معدل التبخر ومدة عملية الترسيب.التطبيقات:
