التبخير بالتفريغ هو عملية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) حيث يتم تبخير المواد من مصدر وترسيبها على ركيزة دون الاصطدام بجزيئات الغاز في الفراغ بين المصدر والركيزة.
تحدث هذه العملية في بيئة مفرغة من الهواء مع نطاق ضغط غاز يتراوح بين 10^-5 و10^-9 تور، مما يضمن الحد الأدنى من تلوث الطبقة المترسبة.
يجب أن تصل المادة المتبخرة إلى درجة حرارة حيث يكون ضغط بخارها 10 mTorr على الأقل للحصول على معدل ترسيب ملموس.
يمكن تسخين مصادر التبخير باستخدام طرق مقاومة لدرجات حرارة أقل من 1,500 درجة مئوية، أو حزم الإلكترونات عالية الطاقة لأي درجة حرارة.
يكون مسار المادة المتبخرة "خط الرؤية"، مما يعني أنها تنتقل مباشرةً من المصدر إلى الركيزة.
ما هو التبخير بالتفريغ بالتفريغ بالانبعاث البفديوي الطفيف؟ شرح 5 نقاط رئيسية
1. بيئة التفريغ
يحدث التبخير بالتفريغ الهوائي في بيئة مفرغة من الهواء مع نطاق ضغط غاز يتراوح بين 10^-5 و10^-9 تور.
وهذا يضمن الحد الأدنى من تلوث الطبقة المودعة.
2. متطلبات ضغط البخار
يجب أن تصل المادة المتبخرة إلى درجة حرارة حيث يكون ضغط بخارها 10 mTorr على الأقل للحصول على معدل ترسيب ملموس.
3. طرق التسخين
يمكن تسخين مصادر التبخير باستخدام طرق مقاومة لدرجات حرارة أقل من 1,500 درجة مئوية، أو حزم إلكترونية عالية الطاقة لأي درجة حرارة.
4. مسار خط البصر
مسار المادة المتبخرة هو "خط البصر"، مما يعني أنها تنتقل مباشرة من المصدر إلى الركيزة.
5. تشكيل الغشاء الرقيق
في سياق عملية التبخير بالتفريغ بالتقنية الفائقة الوضوح (PVD)، يعد التبخير بالتفريغ بالتفريغ إحدى الطرق العديدة المستخدمة لتطبيق الأغشية الرقيقة على الركائز عن طريق تحويل مادة الطلاء الصلبة إلى بخار.
ثم يتكثف هذا البخار على سطح الركيزة لتشكيل الطلاء.
وتُعد بيئة التفريغ مهمة للغاية لأنها تسمح حتى للمواد ذات ضغط البخار المنخفض بإنتاج سحابة بخار يمكن أن تجتاز الغرفة وتلتصق بسطح الركيزة كطلاء رقيق.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اختبر دقة وكفاءة لا مثيل لها معشركة KINTEK SOLUTION أحدث أنظمة التبخير بالتفريغ بالتفريغ.
تضمن تقنية PVD المبتكرة الخاصة بنا جودة طلاء فائقة ومعدلات ترسيب محسّنة وأغشية سميكة خالية من التلوث.
ارتقِ بعمليات البحث والتصنيع الخاصة بك معحل Kintek - شريكك الموثوق في حلول ترسيب الأغشية الرقيقة المتقدمة.
استكشف مجموعتنا من معدات التبخير بالتفريغ اليوم وأطلق العنان للإمكانات الحقيقية لمشاريعك!
