يحدث طلاء الاخرق عادةً عند ضغوط في نطاق mTorr، وتحديدًا من 0.5 mTorr إلى 100 mTorr.
ويعد نطاق الضغط هذا ضروريًا لتسهيل عملية الطلاء بالرش.
في هذه العملية، تُقصف المادة المستهدفة بأيونات من بلازما، عادةً ما تكون الأرجون.
ويتسبب ذلك في طرد الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة.
ما هو ضغط طلاء الرذاذ؟ (شرح 4 عوامل رئيسية)
1. الضغط الأساسي ومقدمة الغاز
قبل بدء عملية الطلاء بالرش، يتم تفريغ غرفة التفريغ إلى ضغط أساسي.
ويكون هذا الضغط الأساسي عادةً في نطاق 10^-6 ملي بار أو أقل.
تضمن بيئة التفريغ العالية هذه الأسطح النظيفة والحد الأدنى من التلوث من جزيئات الغاز المتبقية.
بعد الوصول إلى الضغط الأساسي، يتم إدخال غاز رشاش، عادةً الأرجون، في الغرفة.
يمكن أن يختلف تدفق الغاز بشكل كبير، من بضعة سنتيمترات مربعة في إعدادات البحث إلى عدة آلاف سنتيمترات مربعة في بيئات الإنتاج.
2. ضغط التشغيل أثناء عملية الاخرق
يتم التحكم في الضغط أثناء عملية الاخرق والحفاظ عليه في نطاق mTorr.
ويعادل هذا النطاق 10^-3 إلى 10^-2 ملي بار.
هذا الضغط مهم للغاية لأنه يؤثر على متوسط المسار الحر لجزيئات الغاز وكفاءة عملية الاخرق.
وعند هذه الضغوط، يكون متوسط المسار الحر قصير نسبيًا، حوالي 5 سنتيمترات.
ويؤثر ذلك على الزاوية والطاقة التي تصل بها الذرات المرشوشة إلى الركيزة.
3. تأثير الضغط على الترسيب
تؤدي الكثافة العالية لغاز المعالجة عند هذه الضغوط إلى العديد من التصادمات بين الذرات المبثوقة وجزيئات الغاز.
وهذا يؤدي إلى وصول الذرات إلى الركيزة بزوايا عشوائية.
وهذا يتناقض مع التبخر الحراري، حيث تقترب الذرات عادةً من الركيزة بزوايا عادية.
يمكن أن يؤدي وجود غاز المعالجة بالقرب من الركيزة أيضًا إلى امتصاص الغاز في الفيلم المتنامي.
وهذا يمكن أن يسبب عيوبًا في البنية المجهرية.
4. الظروف الكهربائية
أثناء عملية الاصطرار، يتم تطبيق تيار كهربائي تيار مستمر على المادة المستهدفة، والتي تعمل بمثابة القطب السالب.
ويساعد هذا التيار، الذي يتراوح عادةً بين -2 إلى -5 كيلو فولت، في تأيين غاز الأرجون وتسريع الأيونات نحو الهدف.
وفي الوقت نفسه، يتم تطبيق شحنة موجبة على الركيزة التي تعمل بمثابة القطب الموجب.
وهذا يجذب ذرات الرذاذ ويسهل ترسيبها.
وباختصار، يتم التحكم بعناية في الضغط أثناء الطلاء بالرش بعناية ليكون في نطاق mTorr.
وهذا يحسن عملية الطلاء بالرش من أجل ترسيب المواد بكفاءة وفعالية على الركائز.
هذا التحكم في الضغط ضروري لإدارة التفاعلات بين ذرات الرذاذ وغاز العملية.
ويضمن جودة وخصائص الفيلم المترسب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف الدقة والتحكم في عملية الطلاء بالرش الرذاذي مع معدات KINTEK SOLUTION المتطورة.
تضمن تقنيتنا ظروف طلاء الاخرق المثلى، مما يوفر أداءً لا مثيل له وجودة غشاء فائقة عند ضغوط دقيقة بمقياس mTorr.
ثق بشركة KINTEK SOLUTION لتلبية احتياجاتك من الطلاء الدقيق والارتقاء بأبحاثك أو إنتاجك إلى آفاق جديدة.
اتصل بنا اليوم واختبر الفرق في التميز في أنظمة الطلاء بالرش الرذاذي!
