تُستخدم الأغشية الرقيقة المودعة بواسطة التبخير بالحزمة الإلكترونية في المقام الأول في التطبيقات البصرية مثل الألواح الشمسية والنظارات والزجاج المعماري. هذه الطريقة قابلة للتطبيق أيضاً في صناعات الطيران والسيارات نظراً لقدرتها على إنتاج مواد ذات مقاومة عالية لدرجات الحرارة ومقاومة التآكل.
عملية التبخير بالحزمة الإلكترونية:
في عملية التبخير بالحزمة الإلكترونية، يتم استخدام شعاع إلكتروني عالي الشحنة لتبخير المادة المستهدفة. يتم تركيز شعاع الإلكترونات على المادة المستهدفة من خلال استخدام مجال مغناطيسي، ويولد قصف الإلكترونات حرارة كافية لتبخير مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد ذات درجات انصهار عالية جداً. ثم تترسب المادة المتبخرة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة. تُجرى هذه العملية تحت ضغط منخفض للغرفة لمنع الغازات الخلفية من التفاعل كيميائياً مع الفيلم.التطبيقات والمواد:
يوفر تبخير شعاع الإلكترون العديد من خيارات المواد، بما في ذلك المواد من النوع المعدني والعازل. هذه التقنية متعددة الاستخدامات ويمكن استخدامها لأغراض مختلفة مثل الرفع، والأومي، والعزل، والتوصيل، والتطبيقات البصرية. وهذه العملية مفضلة بشكل خاص لقدرتها على ترسيب طبقات متعددة، وهو ما يسهله مصادر مثل مصدر الجيب الدوار رباعي الجيوب.
المزايا والتحكم:
تتمثل إحدى المزايا المهمة لتبخير الحزمة الإلكترونية في إمكانية التحكم والتكرار. كما أنه يسمح باستخدام مصدر أيوني لتعزيز خصائص أداء الطبقة الرقيقة. يمكن التحكم في هذه العملية بدرجة كبيرة، مما يسمح بترسيب دقيق للمواد، وهو أمر بالغ الأهمية للتطبيقات التي تتطلب خصائص بصرية محددة أو مقاومة عالية للعوامل البيئية.
