يتطلب الاخرق المغنطروني مجالاً مغناطيسياً لتعزيز كفاءة عملية الاخرق عن طريق حصر الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، وبالتالي زيادة معدل الترسيب وحماية الركيزة من التلف. ويتحقق ذلك من خلال استخدام مجال مغناطيسي مغناطيسي مغلق يزيد من احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون بالقرب من سطح الهدف، مما يؤدي إلى زيادة كثافة البلازما وكفاءة التأين.
شرح مفصل:
-
تعزيز توليد البلازما: يلعب المجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني دورًا حاسمًا في تعزيز توليد البلازما. فمن خلال إنشاء مجال مغناطيسي مغلق فوق سطح الهدف، يزيد النظام من احتمالية حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون. وتعد هذه التصادمات ضرورية لتأيين غاز الأرجون، وهو أمر ضروري لعملية الاصفاق. ويؤدي تأين غاز الأرجون إلى تكوين أيونات الأرجون الموجبة التي يتم تسريعها نحو الهدف سالب الشحنة، مما يؤدي إلى طرد ذرات الهدف.
-
حصر الإلكترونات: يحبس المجال المغناطيسي الإلكترونات بفعالية بالقرب من سطح الهدف. ويمنع هذا الحبس الإلكترونات من الوصول إلى الركيزة، مما قد يتسبب في تلف أو تسخين غير مرغوب فيه. وبدلاً من ذلك، تبقى الإلكترونات المحصورة بالقرب من الهدف، حيث يمكنها الاستمرار في تأيين غاز الأرجون، مما يحافظ على البلازما ويزيد من معدل الترسيب.
-
زيادة معدل الترسيب: إن حصر الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف لا يحمي الركيزة فحسب، بل يزيد أيضًا من معدل الترسيب بشكل كبير. وتؤدي الكثافة العالية للبلازما بالقرب من سطح الهدف إلى تصادمات أكثر تواترًا بين أيونات الأرجون والمادة المستهدفة، مما يؤدي إلى ارتفاع معدل طرد المواد والترسيب على الركيزة.
-
معلمات تشغيل أقل: يسمح الاستخدام الفعال للمجال المغناطيسي في الرش المغنطروني المغناطيسي بتشغيل العملية عند ضغوط وفولتية أقل مقارنةً بالرش المغناطيسي التقليدي. وهذا لا يقلل من استهلاك الطاقة فحسب، بل يقلل أيضًا من خطر تلف الركيزة ويحسن الجودة الإجمالية للفيلم المترسب.
-
براعة في ترسيب المواد: يمكن ضبط تكوين المجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني في الاخرق المغنطروني ليناسب المواد المختلفة ومتطلبات الترسيب. وتسمح هذه المرونة بترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد الموصلة والعازلة، بمجرد ضبط المجال المغناطيسي ومصدر الطاقة (تيار مستمر أو ترددات لاسلكية).
باختصار، يعد المجال المغناطيسي في الرش المغناطيسي المغنطروني ضروريًا لتعزيز كفاءة عملية الرش المغناطيسي وحماية الركيزة وتمكين ترسيب مجموعة واسعة من المواد بمعدلات عالية ودرجات حرارة منخفضة.
اكتشف الكفاءة التي لا مثيل لها وتعدد الاستخدامات التي لا مثيل لها لأنظمة الرش بالمغناطيسية من KINTEK SOLUTION. تضمن تقنية المجال المغناطيسي المتقدمة لدينا ترسيبًا دقيقًا ومُحسَّنًا حتى لأكثر الركائز حساسية. قم بترقية قدرات مختبرك من خلال حلولنا المتطورة التي ترتقي بعملية الرش بالمغناطيسية إلى آفاق جديدة من الإنتاجية والجودة - اطلب عرض أسعار اليوم وارتقِ بأبحاثك إلى آفاق جديدة!
