فريق التقنية · Kintek Solution

يعد الاخرق في الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM) عملية حاسمة تُستخدم لإعداد عينات غير موصلة أو ضعيفة التوصيل للتصوير.من خلال ترسيب طبقة رقيقة من مادة موصلة (مثل الذهب أو البلاتين أو الكربون) على العينة، يمنع الرش الرذاذ تأثيرات الشحن التي تسببها حزمة الإلكترون ويعزز انبعاث الإلكترونات الثانوية ويحسن نسبة الإشارة إلى الضوضاء، مما يؤدي إلى الحصول على صور عالية الجودة.وتعد هذه العملية مهمة بشكل خاص للمواد الحساسة للحزمة والمواد غير الموصلة للإشعاع، لأنها تحمي العينة من التلف وتضمن التصوير الدقيق بمقاييس النانومتر.كما تتيح عملية الاخرق أيضًا استخدام التحليل الطيفي للأشعة السينية من خلال توفير طبقة موصلة لا تتداخل مع تحليل العناصر.

شرح النقاط الرئيسية:

1. منع آثار الشحن:

   • يمكن للعينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل أن تتراكم الإلكترونات عند تعرضها لحزمة الإلكترونات في SEM، مما يؤدي إلى تأثيرات الشحن.تشوه هذه التأثيرات الصورة ويمكن أن تتلف العينة.
   • يرسب الاخرق طبقة موصلة رقيقة (2-20 نانومتر) على العينة، مما يوفر مسارًا لتبدد الإلكترونات الزائدة، وبالتالي منع الشحن.

2. تعزيز انبعاث الإلكترونات الثانوية:

   • الإلكترونات الثانوية ضرورية لإنشاء صور عالية الدقة في SEM.غالبًا ما يكون انبعاث الإلكترونات الثانوية للمواد غير الموصلة منخفضًا، مما يؤدي إلى ضعف جودة الصورة.
   • يعزز الطلاء الموصِّل المطبق أثناء عملية الاخرق من انبعاث الإلكترونات الثانوية، مما يحسن من وضوح وتفاصيل صور SEM.

3. تحسين نسبة الإشارة إلى الضجيج:

   • تُعد نسبة الإشارة إلى الضوضاء الأعلى ضرورية لإنتاج صور SEM واضحة وعالية الجودة.يزيد الاخرق من توصيل العينة، مما يقلل من الضوضاء ويعزز الإشارة من الإلكترونات الثانوية.
   • وهذا التحسين مفيد بشكل خاص لتصوير التفاصيل الدقيقة بمقاييس النانومتر.

4. حماية المواد الحساسة للأشعة:

   • تكون بعض العينات، مثل العينات البيولوجية أو البوليمرات، حساسة لحزمة الإلكترون ويمكن أن تتلف أثناء التصوير.
   • تعمل الطبقة الموصلة الرقيقة كحاجز وقائي، مما يقلل من تلف الحزمة ويتيح جلسات تصوير أطول دون المساس بسلامة العينة.

5. تمكين التحليل الطيفي بالأشعة السينية:

   • بالنسبة للتحليل الطيفي بالأشعة السينية، غالبًا ما يُفضل طلاء الكربون على الطلاء المعدني لأنه لا يتداخل مع التحليل العنصري للعينة.
   • يوفر الاخرق بالكربون طبقة موصلة تسمح بإجراء تحليل طيفي دقيق بالأشعة السينية مع الحفاظ على السلامة الهيكلية للعينة.

6. خيارات المواد المستخدمة في الاخرق:

   • تشمل المواد الشائعة المستخدمة في الاخرق الذهب وسبائك الذهب/البلاديوم والبلاتين والفضة والكروم والإيريديوم والكربون.
   • ويعتمد اختيار المواد على التطبيق المحدد، مثل الحاجة إلى التوصيل العالي (المعادن) أو التوافق مع التحليل الطيفي للأشعة السينية (الكربون).

7. التطبيقات في العينات البيولوجية وغير الموصلة:

   • تتطلب العينات البيولوجية، التي عادةً ما تكون غير موصلة للكهرباء استخدام الاخرق لضمان التصوير الواضح بمقاييس النانومتر.
   • كما تستفيد المواد غير الموصلة للكهرباء مثل السيراميك أو البوليمرات من عملية الاخرق لمنع الشحن وتحسين جودة الصورة.

8. تفاصيل العملية:

   • يتضمن الرش بالرش وضع العينة في حجرة تفريغ وقصف مادة مستهدفة (مثل الذهب أو البلاتين) بالأيونات، مما يؤدي إلى قذف الذرات من الهدف وترسيبها على العينة.
   • يتم التحكم في سمك طبقة الرذاذ بعناية (عادةً ما تكون 2-20 نانومتر) لضمان التوصيل الأمثل دون حجب التفاصيل الدقيقة للسطح.

من خلال معالجة هذه النقاط الرئيسية، يضمن الرش بالمبخرة أن يكون التصوير بالموجات فوق الصوتية دقيقًا وعالي الدقة وخاليًا من القطع الأثرية الناتجة عن الشحن أو تلف الحزمة.لا غنى عن هذه العملية لمجموعة واسعة من المواد، خاصةً تلك غير الموصلة أو الحساسة للشعاع.

جدول ملخص:

الفوائد الرئيسية لـ Sputtering في SEM	التفاصيل
يمنع تأثيرات الشحن	ترسب طبقة موصلة رقيقة (2-20 نانومتر) لتبديد الإلكترونات الزائدة.
يعزز انبعاث الإلكترونات الثانوية	يحسّن وضوح الصورة وتفاصيلها للمواد غير الموصلة.
يحسّن نسبة الإشارة إلى الضوضاء	يقلل من التشويش، مما يتيح التصوير عالي الجودة بمقاييس النانومتر.
يحمي المواد الحساسة للأشعة	يعمل كحاجز لتقليل تلف الشعاع أثناء التصوير.
يتيح التحليل الطيفي بالأشعة السينية	تسمح الطلاءات الكربونية بإجراء تحليل دقيق للعناصر دون تداخل.
خيارات المواد	الذهب والبلاتين والكربون وغيرها، حسب احتياجات التطبيق.
التطبيقات	مثالية للعينات البيولوجية وغير الموصلة مثل السيراميك والبوليمرات.
تفاصيل العملية	أجريت في غرفة تفريغ الهواء مع التحكم الدقيق في السماكة (2-20 نانومتر).

تحسين تصوير الماسح الضوئي SEM الخاص بك باستخدام الاخرق- اتصل بخبرائنا اليوم للحصول على حلول مصممة خصيصاً لك!