يعتبر الاخرق بالترددات الراديوية بشكل عام أفضل من الاخرق بالتيار المستمر لعدة أسباب، خاصةً في قدرته على ترسيب مجموعة واسعة من المواد وفعاليته مع الأهداف العازلة. وفيما يلي شرح تفصيلي لسبب تفوق الرش بالترددات اللاسلكية على الرش بالترددات الراديوية على الرش بالتيار المستمر:
1. تعدد الاستخدامات في ترسيب مواد مختلفة:
يستطيع الاخرق بالترددات اللاسلكية ترسيب مجموعة متنوعة من المواد، بما في ذلك العوازل والمعادن والسبائك والمواد المركبة. هذا التنوع مفيد بشكل خاص في الصناعات التي تحتاج فيها خصائص الأغشية الصلبة الرقيقة إلى أن تكون مصممة خصيصًا لمتطلبات محددة. وعلى عكس رشّ التيار المستمر، الذي يعاني من صعوبة في التعامل مع الأهداف العازلة بسبب تراكم الشحنات، يمكن أن يتعامل رشّ الترددات اللاسلكية مع هذه المواد بفعالية.2. تحسين جودة الفيلم والتغطية المتدرجة:
ينتج الرش بالترددات اللاسلكية جودة غشاء وتغطية متدرجة أفضل مقارنةً بطرق التبخير. وهذا أمر بالغ الأهمية في التطبيقات التي يكون فيها اتساق الفيلم وتماسكه أمرًا بالغ الأهمية، كما هو الحال في تصنيع أشباه الموصلات.
3. تقليل تأثيرات زيادة الشحن والتقوس:
يساعد استخدام مصدر تردد لاسلكي متردد بتردد 13.56 ميجاهرتز على تجنب تأثيرات زيادة الشحن وتقليل الانحناء. وذلك لأن علامة المجال الكهربائي على كل سطح داخل غرفة البلازما تتغير مع الترددات اللاسلكية، مما يمنع تراكم الشحنات التي يمكن أن تؤدي إلى تقوس وتلف المادة المستهدفة.4. التشغيل عند ضغوط منخفضة:
يمكن أن يعمل الرش بالترددات اللاسلكية عند ضغوط منخفضة (من 1 إلى 15 ملي طن من التور) مع الحفاظ على البلازما. وتقلل بيئة الضغط المنخفض هذه من عدد التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة، مما يؤدي إلى مسار أكثر مباشرة إلى هدف الرش وزيادة الكفاءة. وعلى النقيض من ذلك، يتطلب الرش بالتيار المستمر عادةً ضغوطًا أعلى (حوالي 100 ملي متر مكعب)، مما قد يؤدي إلى مزيد من التصادمات وعمليات رش أقل كفاءة.
5. الابتكارات والتطورات:
