وغالباً ما يعتبر الاخرق بالترددات الراديوية أفضل من الاخرق بالتيار المستمر نظراً لقدرته على التعامل مع المواد العازلة، والعمل تحت ضغط أقل، ومنع تراكم الشحنات على سطح الهدف.وعلى عكس رش التيار المستمر، الذي يقتصر على المواد الموصلة فقط، يستخدم رش الترددات اللاسلكية مصدر طاقة تيار متردد (AC)، عادةً عند 13.56 ميجاهرتز، لرش المواد الموصلة وغير الموصلة على حد سواء.وهذا يجعل الاخرق بالترددات اللاسلكية أكثر تنوعًا، خاصة بالنسبة للأهداف العازلة.وبالإضافة إلى ذلك، يعمل الرش بالترددات الراديوية عند ضغوط أقل، مما يقلل من التصادمات بين جزيئات المواد المستهدفة وأيونات الغاز، مما يعزز جودة الطبقة المترسبة.على الرغم من أن الرش بالترددات الراديوية له معدل ترسيب أقل وتكلفة أعلى مقارنة بالرش بالترددات المستمرة، فإن مزاياه في توافق المواد واستقرار العملية تجعله الخيار المفضل للتطبيقات التي تتضمن مواد عازلة وركائز أصغر.
شرح النقاط الرئيسية:
-
توافق المواد:
- :: رشاش التيار المستمر:يقتصر على المواد الموصلة بسبب تراكم الشحنات على الأهداف العازلة، مما يعطل عملية الاخرق.
- الاخرق بالترددات اللاسلكية:يمكنه رش كل من المواد الموصلة وغير الموصلة.يمنع التيار المتناوب تراكم الشحنات على الأهداف العازلة، مما يجعلها مثالية للمواد العازلة.
-
ضغط التشغيل:
- :: رشاش التيار المستمر:يعمل عند ضغوط أعلى (حوالي 100 ملي طن من التور)، مما يؤدي إلى مزيد من التصادمات بين جزيئات المادة المستهدفة وأيونات الغاز، مما قد يقلل من كفاءة الترسيب وجودة الطبقة.
- الرش بالترددات اللاسلكية:تعمل عند ضغوط أقل (أقل من 15 ملي طن من البوليمرات)، مما يقلل من التصادمات ويسمح بمسار أكثر مباشرة للجسيمات للوصول إلى الركيزة، مما يؤدي إلى طبقات ذات جودة أعلى.
-
تراكم الشحنة واستقرار البلازما:
- :: رشاش التيار المستمر:عرضة لتراكم الشحنات على سطح الهدف، خاصةً مع المواد العازلة، والتي يمكن أن تؤدي إلى تقوس البلازما وعدم استقرارها.
- رش الترددات اللاسلكية:يعمل التيار المتناوب على التخلص من تراكم الشحنات، مما يمنع الانحناء ويضمن استقرار البلازما، مما يحسن من جودة وتوحيد الطبقة المترسبة.
-
معدل الترسيب والتكلفة:
- :: رشاش التيار المستمر:توفر معدلات ترسيب أعلى وأكثر فعالية من حيث التكلفة، مما يجعلها مناسبة للإنتاج على نطاق واسع والمواد الموصلة.
- رش الترددات اللاسلكية:لديها معدل ترسيب أقل وهي أكثر تكلفة، ولكن مزاياها في توافق المواد واستقرار العملية تجعلها أكثر ملاءمة للتطبيقات المتخصصة، خاصة مع المواد العازلة والركائز الأصغر.
-
تشكيل البلازما واستخدام الهدف:
- :: رشاش التيار المستمر:يقتصر تكوين البلازما على الكاثود أو سطح الهدف، مما يؤدي إلى تآكل موضعي (تآكل مسار السباق) وعمر أقصر للهدف.
- رش الترددات اللاسلكية:يمتد تكوين البلازما في جميع أنحاء حجرة التفريغ، مما يشمل مساحة سطح أكبر من الهدف.وهذا يقلل من التآكل الموضعي ويطيل عمر الهدف ويحسن كفاءة العملية.
-
التردد والجهد:
- :: رشاش التيار المستمر:يستخدم مصدر طاقة تيار مباشر (DC) بجهد عالي (2,000-5,000 فولت).
- رش الترددات اللاسلكية:يستخدم مصدر طاقة تيار متردد (AC) بتردد ثابت يبلغ 13.56 ميغاهيرتز، مع متطلبات جهد أعلى (1012 فولت أو أعلى).يمكّن مصدر طاقة التيار المتردد من رش المواد العازلة ويحافظ على بلازما مستقرة عند ضغوط أقل.
وباختصار، فإن الرش بالترددات اللاسلكية أفضل من الرش بالترددات المستمر للتطبيقات التي تتضمن مواد عازلة، وضغوط تشغيل أقل، واستقرار أعلى في العملية.في حين أنه قد يكون له معدل ترسيب أقل وتكلفة أعلى، إلا أن مزاياه في توافق المواد واستقرار البلازما واستخدام الهدف يجعله الخيار المفضل للتطبيقات المتخصصة.
جدول ملخص:
| الميزة | الاخرق بالتيار المستمر | الاخرق بالترددات اللاسلكية |
|---|---|---|
| توافق المواد | يقتصر على المواد الموصلة | يعمل مع المواد الموصلة وغير الموصلة |
| ضغط التشغيل | أعلى (حوالي 100 ملي طن متري) | أقل (أقل (<15 مللي متر مكعب) |
| تراكم الشحنات | عرضة لتراكم الشحنات | يمنع تراكم الشحنات |
| معدل الترسيب | أعلى | أقل |
| التكلفة | أكثر فعالية من حيث التكلفة | أكثر تكلفة |
| استقرار البلازما | أقل استقراراً | مستقر للغاية |
| استخدام الهدف | تآكل موضعي، عمر مستهدف أقصر | تآكل أقل، وعمر أطول للهدف |
هل أنت مهتم باستخدام رش الترددات اللاسلكية لتطبيقاتك الدقيقة؟ اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
