يتم تصنيع أهداف الاخرق من خلال عمليات تصنيع مختلفة تعتمد على خصائص المادة والاستخدام المقصود منها. وتشمل الطرق الشائعة الصهر والصب بالتفريغ والضغط الساخن والضغط على البارد والتلبيد والعمليات الخاصة الملبدة بالضغط. تضمن هذه العمليات إنتاج أهداف عالية الجودة ونقية كيميائياً وموحدة كيميائياً وموحدة معدنياً تستخدم في الترسيب الرذاذي لإنشاء الأغشية الرقيقة.
عمليات التصنيع:
-
الصهر والصب بالتفريغ: تتضمن هذه العملية صهر المواد الخام في الفراغ لمنع التلوث ثم صبها في الشكل المطلوب. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص للمواد التي تتطلب درجة نقاء عالية.
-
الكبس على الساخن والكبس على البارد مع التلبيد: تتضمن هذه الطرق كبس المواد المسحوقة في درجات حرارة عالية أو في درجة حرارة الغرفة، يليها التلبيد لربط الجسيمات معًا. ويحقق الضغط الساخن عادةً كثافات أعلى وخصائص ميكانيكية أفضل.
-
عملية التلبيد بالضغط الخاص: هذه عملية مصممة خصيصًا لمواد محددة تتطلب ظروفًا فريدة لتحقيق التكثيف والترابط الأمثل.
-
الكبس الساخن بالتفريغ: تشبه عملية الكبس الساخن، ولكنها تُجرى في فراغ لتعزيز النقاء ومنع الأكسدة.
الشكل والحجم:
يمكن تصنيع أهداف الاخرق في أشكال وأحجام مختلفة، عادةً ما تكون دائرية أو مستطيلة. ومع ذلك، قد تستلزم القيود التقنية إنتاج أهداف متعددة الأجزاء، والتي يتم ربطها بعد ذلك باستخدام وصلات تناكبية أو مشطوفة.ضمان الجودة:
تخضع كل دفعة إنتاج لعمليات تحليلية صارمة لضمان الامتثال لمعايير الجودة العالية. وتُرفق شهادة تحليل مع كل شحنة لضمان خصائص المادة ونقائها.
الاستخدام في ترسيب الأغشية الرقيقة:
تُعد أهداف الترسيب الرذاذ ضرورية في ترسيب الرذاذ، وهي تقنية تُستخدم لإنتاج الأغشية الرقيقة لتطبيقات مثل أشباه الموصلات والخلايا الشمسية والمكونات البصرية. يتم قصف الأهداف، المصنوعة من معادن نقية أو سبائك أو مركبات نقية، بأيونات غازية، مما يؤدي إلى قذف الجسيمات وترسيبها على الركيزة وتشكيل طبقة رقيقة.
إعادة التدوير: