تُصنع الأغشية الرقيقة من خلال تقنيات ترسيب مختلفة، بما في ذلك التبخير والتبخير والترسيب بالبخار الكيميائي (CVD) والطلاء الدوراني. وتتيح هذه الطرق التحكم الدقيق في سماكة الأغشية وتكوينها، وهو أمر بالغ الأهمية لتطبيقاتها المتنوعة في صناعات مثل الإلكترونيات والبصريات والمستحضرات الصيدلانية.
التبخير والتبخير بالرش (الترسيب الفيزيائي للبخار - PVD):
ينطوي الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) على ترسيب المواد عن طريق تكثيف المواد المتبخرة من مصدر على ركيزة. تحدث هذه العملية في غرفة مفرغة من الهواء لتقليل التداخل وضمان انتقال الجسيمات بحرية. وينطوي التبخير على تسخين المادة حتى تتبخر ثم تتكثف على الركيزة الأكثر برودة. ومن ناحية أخرى، يعمل التبخير على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة بسبب قصفها بجسيمات نشطة، وعادة ما تكون أيونات. ثم تترسب هذه الذرات على الركيزة. وكلتا الطريقتين موجهتان وتستخدمان لإنشاء أغشية رقيقة ذات خصائص محددة مثل التوصيلية أو الانعكاسية.ترسيب البخار الكيميائي (CVD):
الترسيب الكيميائي بالترسيب بالبخار الكيميائي هي عملية كيميائية تُستخدم لإنتاج مواد صلبة عالية النقاء وعالية الأداء. تتضمن العملية وضع الركيزة في مفاعل وتعريضها لغازات متطايرة. تؤدي التفاعلات الكيميائية بين هذه الغازات والركيزة إلى تكوين طبقة صلبة على سطح الركيزة. يمكن أن ينتج عن عملية التفريد القابل للقسري القابل للذوبان أغشية رقيقة من مواد مختلفة، بما في ذلك الهياكل أحادية البلورة أو متعددة البلورات أو غير المتبلورة. يمكن ضبط خصائص الأغشية عن طريق التحكم في المعلمات مثل درجة الحرارة والضغط وتكوين الغاز.
الطلاء بالدوران:
طلاء الدوران هو تقنية تستخدم في المقام الأول لإنشاء أغشية رقيقة موحدة على ركائز مسطحة. يتم تطبيق كمية صغيرة من مادة الطلاء على الركيزة، ثم يتم تدويرها بسرعات عالية لنشر المادة بالتساوي على السطح. هذه الطريقة مفيدة بشكل خاص لإنشاء طبقات رقيقة وموحدة من مقاوم الضوء في صناعة أشباه الموصلات.
التطبيقات والأهمية:
