الترسيب بالتبخير هو عملية يتم فيها تسخين المواد المصدرية إلى درجات حرارة عالية، مما يؤدي إلى تبخيرها أو تساميها إلى بخار. ثم تتكثف هذه الذرات المتبخرة على الأسطح مكونة طبقة رقيقة من المادة. تُجرى هذه الطريقة عادةً في غرفة عالية التفريغ لتقليل تصادمات الغازات والتفاعلات غير المرغوب فيها.
ملخص العملية:
ينطوي الترسيب بالتبخير على تسخين مادة مصدرية حتى تتبخر، ثم السماح للبخار بالتكثف على الركيزة، مكونًا طبقة رقيقة. يتم تنفيذ هذه العملية في بيئة عالية التفريغ لضمان نقاء وجودة المادة المترسبة.
-
الشرح التفصيلي:تسخين المادة المصدرية:
-
يتم تسخين المادة المصدرية إلى درجة حرارة عالية، إما من خلال الطرق الحرارية أو التبخير بالحزمة الإلكترونية أو الترسيب بالرشاش. في التبخير الحراري، يتم تسخين المادة مباشرةً حتى تتبخر. ويستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعًا من الإلكترونات عالية الطاقة لتبخير المادة، بينما يتضمن الترسيب بالرشاش استخدام بلازما أو حزمة أيونات لإخراج الذرات من المادة المصدر.التبخير والتكثيف:
-
بمجرد التبخير، تنتقل الذرات عبر غرفة التفريغ وتتكثف على الركيزة. وتعد بيئة التفريغ ضرورية لأنها تمنع التلوث من الغازات الأخرى وتضمن ترسب المادة المتبخرة بشكل نظيف على الركيزة.تكوين طبقة رقيقة:
-
تشكل الذرات المكثفة طبقة رقيقة على الركيزة. ويمكن التحكم في سمك هذا الفيلم وتوحيده بدقة عن طريق ضبط ضغط بخار المادة المصدر ودرجة حرارة الركيزة. وهذا التحكم ضروري للتطبيقات التي تتطلب خصائص محددة مثل التوصيل أو العزل أو مقاومة التآكل.التطبيقات والصناعات:
يُستخدم الترسيب بالتبخير على نطاق واسع في صناعات مثل الإلكترونيات والبصريات والفضاء لإنشاء طلاءات رقيقة. هذه الطلاءات ضرورية لتعزيز وظائف وأداء المكونات والأجهزة المختلفة.المراجعة والتصحيح:
