نعم، يُستخدم التبخير بمساعدة الحزمة الإلكترونية للمعادن.
ملخص:
تبخير الحزمة الإلكترونية هو تقنية تُستخدم لترسيب المعادن والمواد الأخرى ذات درجات الانصهار العالية على الركائز. وتتضمن هذه الطريقة استخدام شعاع إلكترون مركز لتسخين وتبخير المادة المستهدفة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة. هذه العملية فعالة بشكل خاص للمعادن بسبب قدرتها على الوصول إلى درجات حرارة عالية وتوفير تحكم دقيق في معدل الترسيب ونقاء الفيلم.
-
الشرح:آلية التسخين:
-
يستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعاً إلكترونياً عالي الطاقة لتسخين المادة المستهدفة. يتم تسخين الإلكترونات عادةً إلى حوالي 3000 درجة مئوية وتسريعها باستخدام مصدر جهد تيار مستمر 100 كيلو فولت. يتم تركيز هذه الحزمة عالية الطاقة على مساحة صغيرة من المادة المستهدفة، مما يتسبب في تسخين وتبخير موضعي.
-
مزايا ترسيب المعادن:
-
تتمثل الميزة الأساسية للتبخير بالحزمة الإلكترونية للمعادن في قدرتها على تحقيق درجات حرارة عالية جداً، وهي ضرورية لتبخير المعادن ذات درجات انصهار عالية مثل التنجستن والتنتالوم. وتقلل هذه الطريقة أيضًا من التلوث من البوتقة، حيث يحدث التبخير في نقطة موضعية للغاية، مما يقلل من خطر الشوائب في الفيلم المترسب.التحكم والدقة:
-
يسمح التبخير بالحزمة الإلكترونية بدرجة عالية من التحكم في عملية الترسيب، بما في ذلك معدل الترسيب. وهذا التحكم أمر بالغ الأهمية لتحقيق الخصائص المرغوبة في الأغشية المعدنية المترسبة، مثل السُمك والتوحيد والنقاء. كما أن هذه الطريقة هي أيضًا طريقة خط الرؤية، مما يعني أن بخار المبخر يتحرك في خطوط مستقيمة، وهو أمر مفيد للتطبيقات التي تتطلب طلاءات متباينة الخواص مثل عمليات الرفع.
تعدد الاستخدامات والتطبيقات:
