والرش هو بالفعل شكل من أشكال الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). تنطوي هذه التقنية على طرد الذرات أو الجزيئات من مادة مستهدفة من خلال قصف جسيمات عالية الطاقة، مما يسمح لهذه الجسيمات المقذوفة بالتكثف على الركيزة كغشاء رقيق.
الشرح:
-
آلية الاخرق:
-
يعمل الاخرق في بيئة مفرغة من الهواء حيث يتم تأيين غاز خامل، عادةً ما يكون الأرجون، لتكوين بلازما. يتم تطبيق جهد عالٍ، مما يسبب تفريغاً متوهجاً يسرع الأيونات نحو المادة المستهدفة. وعند الاصطدام، تقوم هذه الأيونات بإزاحة الذرات من سطح الهدف، وهي عملية تعرف باسم الاخرق. وتشكّل المادة المقذوفة سحابة بخار تنتقل إلى الركيزة وتتكثف مكونة طبقة طلاء.
- أنواع الاخرق:الاخرق التقليدي:
- كما هو موضح، يتضمن العملية الأساسية للقصف الأيوني لقذف المواد من الهدف.الاخرق التفاعلي:
- ينطوي هذا على استخدام غازات تفاعلية إضافية مثل النيتروجين أو الأسيتيلين، والتي تتفاعل مع المادة المقذوفة لتشكيل مركبات مثل الأكاسيد أو النيتريدات.الاخرق المغنطروني:
-
يستخدم هذا البديل المجالات المغناطيسية لحصر البلازما وتعزيزها، مما يزيد من كفاءة عملية الرش. وهو مفيد بشكل خاص لترسيب كل من الأغشية الرقيقة المعدنية والعازلة.التطبيقات والمزايا:
-
تُستخدم تقنية الرش الرذاذ على نطاق واسع لترسيب الطلاءات الصلبة الملساء على ركائز مختلفة، مما يجعلها مثالية للتطبيقات التزيينية والترايبولوجية. كما أن التحكم الدقيق في سماكة الطلاء يجعلها مناسبة للطلاءات البصرية. وبالإضافة إلى ذلك، فإن طبيعة درجة الحرارة المنخفضة للعملية مفيدة للمنتجات الحساسة لدرجات الحرارة.
-
التحكم في العملية في عملية الطلاء بالطباعة بالانبعاث الطيفي المستمر:
يجب التحكم في العديد من المعلمات لضمان جودة الطبقة الرقيقة المترسبة، بما في ذلك نوع الغاز المستخدم، والطاقة المستخدمة، والمسافة بين الهدف والركيزة. وتتميز هذه العملية بقدرتها على التعامل مع مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد غير الموصلة من خلال استخدام طاقة الترددات اللاسلكية أو طاقة الترددات المتوسطة.
القيود:
