نظام التفريغ الصناعي عبارة عن إعداد معقد يتضمن أوعية تفريغ، وأنواع مختلفة من المضخات (ميكانيكية، معززة، منتشرة، جزيئية توربينية، قابضة)، وأنابيب مرتبطة بها، ومشعبات، وصمامات، ومعدات قياس التفريغ، والفخاخ. تعد هذه الأنظمة ضرورية في التصنيع الصناعي لعمليات مثل التعبئة والتغليف وإزالة الغازات والتجفيف والتعبئة في زجاجات. وتعمل هذه الأنظمة عن طريق إزالة الهواء والغازات والجزيئات الأخرى من الغرفة لإنشاء تفريغ، وهو أمر ضروري للعديد من التطبيقات الصناعية والعلمية.
المكونات والوظائف:
إن جوهر نظام التفريغ الصناعي هو وعاء التفريغ، الذي يتصل بأنواع متعددة من المضخات. تم تصميم هذه المضخات لتعمل على نطاق ضغط واسع، عادةً من 1.3 إلى 13.3 ملي بار. ويشمل النظام مضخات ميكانيكية لإنشاء التفريغ الأولي، ومضخات معززة لتعزيز مستوى التفريغ، ومضخات الانتشار للتفريغ العالي، ومضخات توربينية لمستويات تفريغ عالية جدًا. يخدم كل نوع من المضخات وظيفة محددة في عملية إنشاء التفريغ، مما يضمن الحفاظ على مستوى التفريغ وتحسينه حسب الحاجة.التطبيقات:
أنظمة التفريغ الصناعي متعددة الاستخدامات وتجد تطبيقات في مجموعة كبيرة من الصناعات. في التصنيع، تُستخدم في عمليات تفريغ الهواء، وصب البلاستيك المركب، وإنتاج المصابيح الكهربائية، وأنابيب التفريغ، وأجهزة CRT. أما في صناعة أشباه الموصلات، فهي حيوية لعمليات مثل الزرع الأيوني والحفر الجاف وتقنيات الترسيب مثل PVD وAllD وPECVD وPECVD وCVD. كما أنها تلعب دورًا حاسمًا في الفحص المجهري الإلكتروني، وعمليات الشفط الطبي، وتخصيب اليورانيوم، وفي التطبيقات الطبية مثل العلاج الإشعاعي والجراحة الإشعاعية. بالإضافة إلى ذلك، تُستخدم مضخات التفريغ في الأجهزة التحليلية ومطيافات الكتلة لتهيئة ظروف التفريغ اللازمة لإجراء تحليل دقيق.
التشغيل:
يتضمن المبدأ الأساسي لتشغيل مضخات التفريغ الصناعية إزالة الهواء والجزيئات الأخرى من غرفة التفريغ. ومع انخفاض الضغط، تصبح إزالة الجزيئات الإضافية أكثر صعوبة، مما يستلزم استخدام أنواع مختلفة من المضخات في سلسلة لتحقيق مستوى التفريغ المطلوب والحفاظ عليه. يضمن هذا التعقيد قدرة نظام التفريغ على العمل بفعالية عبر نطاق الضغط الواسع المطلوب في البيئات الصناعية.
