أهداف الاخرق هي مكونات متخصصة تستخدم في عملية الاخرق، وهي طريقة لترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة. وتكون هذه الأهداف عادةً عبارة عن أقراص أو صفائح رقيقة مصنوعة من مواد مختلفة، بما في ذلك المعادن والسيراميك والبلاستيك. وتتضمن العملية إخراج الذرات من سطح المادة المستهدفة عن طريق قصفها بالأيونات، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة.
ملخص الإجابة:
أهداف الاخرق عبارة عن أقراص أو صفائح رقيقة تُستخدم في عملية الاخرق لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. تتضمن هذه العملية قذف ذرات المادة المستهدفة فيزيائيًا من خلال القصف الأيوني وترسيبها على الركيزة في بيئة مفرغة من الهواء. تُعد أهداف الاخرق ضرورية في مختلف الصناعات، بما في ذلك الإلكترونيات الدقيقة والخلايا الشمسية والطلاءات الزخرفية.
-
شرح مفصل:تكوين أهداف الاخرق وأنواعها:
-
يمكن صنع أهداف الاخرق من مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن مثل الألومنيوم والنحاس والتيتانيوم، وكذلك السيراميك والبلاستيك. على سبيل المثال، يشيع استخدام أهداف الموليبدينوم في إنتاج الأغشية الرقيقة الموصلة لشاشات العرض والخلايا الشمسية. ويعتمد اختيار المادة على الخصائص المرغوبة للغشاء الرقيق، مثل التوصيلية أو الانعكاسية أو المتانة.
-
عملية الاخرق:
-
تحدث عملية الاخرق في غرفة تفريغ لمنع التفاعل مع الهواء أو الغازات غير المرغوب فيها. يتم ضخ الغرفة عادةً إلى ضغط أساسي يبلغ جزء من المليار من الضغط الجوي العادي. يتم إدخال غازات خاملة، مثل الأرجون، في الغرفة لخلق جو منخفض الضغط. يتم قصف المادة المستهدفة بالأيونات التي تقذف الذرات من سطحها. ثم تنتقل هذه الذرات وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. وعادةً ما يتم وضع الركيزة مقابل الهدف لضمان ترسيب متساوٍ وسريع.تطبيقات أهداف الاخرق:
تُستخدم أهداف الاخرق في العديد من التطبيقات في مختلف الصناعات. في الإلكترونيات الدقيقة، فهي ضرورية لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد على رقائق السيليكون لإنشاء أجهزة إلكترونية مثل الترانزستورات والدوائر المتكاملة. وفي إنتاج الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة، تساعد أهداف الرش في إنشاء طبقات موصلة تعزز كفاءة تحويل الطاقة الشمسية. وبالإضافة إلى ذلك، تُستخدم في الإلكترونيات الضوئية والطلاءات الزخرفية حيثما كانت هناك حاجة إلى خصائص بصرية أو تشطيبات جمالية محددة.
التقنيات والمزايا:
