فريق التقنية · Kintek Solution

المواد الكيميائية التي تظهر الترسيب هي في المقام الأول السلائف المستخدمة في عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).

يتم تحويل هذه السلائف إلى أغشية رقيقة أو طلاءات على الركائز من خلال التفاعلات السطحية.

ما هي المواد الكيميائية التي تظهر الترسيب؟ شرح 7 سلائف رئيسية

1. الهاليدات

تشمل سلائف الهاليدات HSiCl3 وSiCl2 وTiCl4 وWF6.

تُستخدم هذه المركبات بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات لترسيب أغشية السيليكون والتيتانيوم والتنجستن.

تتطاير الهاليدات عادةً ثم تتفاعل على سطح الركيزة لتكوين المادة المطلوبة.

2. الهيدريدات

تُستخدم سلائف الهيدريدات مثل AlH(NMe3)3 وSiHH4 وGeH4 وNH3 لترسيب أفلام الألومنيوم والسيليكون والجرمانيوم والأفلام المحتوية على النيتروجين على التوالي.

وغالبًا ما تكون هذه المركبات مفضلة بسبب تفاعليتها العالية، مما يسهل تشكيل أفلام مستقرة على الركيزة.

3. ألكوكسيدات الفلزات

تيترا إيثيل أورثوسيليكات رباعي إيوس (TEOS) وتيتراكيس ثنائي ميثيل أمين التيتانيوم (TDMAT) هما مثالان على ألكوكسيدات الفلزات المستخدمة في عمليات التفريغ القابل للقطع بالقنوات القلبية الوسيطة.

يستخدم TEOS عادةً لترسيب أكسيد السيليكون، بينما يستخدم TDMAT لترسيب نيتريد التيتانيوم.

وتعتبر هذه السلائف مفيدة لأنها يمكن أن تشكل أفلامًا عالية الجودة مع تجانس جيد.

4. ثنائي الكيلاميدات الفلزية والديكيتونات الفلزية

تشمل الأمثلة على ذلك Ti(NMe2) وCu(acac)، والتي تُستخدم لترسيب أغشية التيتانيوم والنحاس على التوالي.

ويتم اختيار هذه السلائف لقدرتها على تشكيل أغشية مستقرة وعالية الجودة بسماكة وتكوين مضبوطين.

5. الكربونات المعدنية والألكوكسيدات المعدنية

Ni(CO) وTi(OiPr)4 هي أمثلة على الكربونات المعدنية والألكوكسيدات المعدنية المستخدمة في التفريغ القابل للقطع بالقنوات القلبية الوسيطة.

هذه السلائف مفيدة بشكل خاص لترسيب الأغشية المعدنية ذات النقاء العالي والالتصاق الجيد بالركيزة.

6. المعادن العضوية

تُستخدم مركبات مثل AlMe3 وTi(CH2tBu) في التفريغ القابل للقطع CVD لترسيب أفلام الألومنيوم والتيتانيوم على التوالي.

وتُفضّل السلائف الفلزية العضوية بسبب تفاعليتها العالية وقدرتها على تشكيل أفلام ذات خصائص محددة.

7. الأكسجين

على الرغم من أنه ليس سليفة بالمعنى التقليدي، غالبًا ما يستخدم الأكسجين مع سلائف أخرى لتسهيل تفاعلات الأكسدة.

وهذا أمر بالغ الأهمية لترسيب أفلام الأكسيد.

وباختصار، فإن المواد الكيميائية التي تظهر الترسيب هي في المقام الأول السلائف المستخدمة في عمليات التفريغ القابل للذوبان في الأكسجين والأكسدة بالبطاريات.

وتخضع هذه السلائف لتفاعلات سطحية على الركيزة، مما يؤدي إلى تكوين أغشية رقيقة أو طلاءات ذات خصائص محددة مصممة خصيصًا لاحتياجات التطبيق.

ويعتمد اختيار السلائف وطريقة الترسيب على خصائص الأغشية المرغوبة، مثل السُمك والتوحيد والالتصاق بالركيزة.

مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا

استكشف العالم المتطور لحلول الأغشية الرقيقة والطلاء مع KINTEK SOLUTION!

صُممت مجموعتنا الواسعة من السلائف عالية الأداء، بما في ذلك الهاليدات والهيدريدات والألكوكسيدات المعدنية وغيرها، لرفع مستوى عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).

من الكربونات المعدنية إلى المعادن العضوية، ثق في KINTEK SOLUTION للحصول على خصائص غشاء فائقة وتحكم دقيق وجودة لا مثيل لها.

ارتقِ بعلوم المواد الخاصة بك مع KINTEK SOLUTION - شريكك في كيمياء الترسيب المبتكرة!