رش الكاثود الكاثود هو عملية تستخدم في ترسيب الأغشية الرقيقة.
في هذه العملية، يتم قصف هدف صلب بأيونات عالية الطاقة.
ويتم تحقيق ذلك عن طريق إنشاء تفريغ متوهج بين قطبين كهربائيين داخل جو مخلخل في ظروف التفريغ.
والقطبان هما الهدف (المهبط) والركيزة (الأنود).
يتم تطبيق مجال تيار مستمر لإنشاء تفريغ بين القطبين.
ومن خلال إدخال غاز خامل، عادة ما يكون الأرجون، تتشكل بلازما من خلال تأين الغاز.
يتم بعد ذلك تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة نحو الهدف السالب الشحنة (المهبط)، مما يؤدي إلى رش مادة المهبط.
وبعد ذلك يتم ترسيب المادة المنبثقة، في شكل ذرات أو جزيئات، على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة أو طلاء.
ويتراوح سمك المادة المترسبة عادةً من 0.00005 إلى 0.01 مم.
وتشمل المواد الشائعة المستخدمة كرواسب مستهدفة الكروم والتيتانيوم والألومنيوم والنحاس والموليبدينوم والتنغستن والذهب والفضة.
الاخرق هو عملية حفر تعمل على تغيير الخصائص الفيزيائية للسطح.
ويمكن استخدامه لتطبيقات مختلفة، بما في ذلك طلاء الركائز من أجل التوصيل الكهربائي، والحد من التلف الحراري، وتعزيز انبعاث الإلكترونات الثانوية، وتوفير أغشية رقيقة للفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي.
تتضمن تقنية الاخرق إدخال غاز محكوم، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
يتم تنشيط القطب السالب، أو الهدف، كهربائياً لتوليد بلازما ذاتية الاستدامة.
وتصبح ذرات الغاز داخل البلازما أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات ثم يتم تسريعها نحو الهدف.
ويؤدي التصادم إلى خلع الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تكوين تيار بخار.
وتمر هذه المادة المرشوشة عبر الحجرة وتترسب على الركيزة كفيلم أو طلاء.
في نظام الرش بالمبخرة، يكون المهبط هو هدف التفريغ الغازي، وتعمل الركيزة كأنود.
تقوم الأيونات النشطة، وهي عادةً أيونات الأرجون، بقصف الهدف، مما يتسبب في طرد ذرات الهدف.
ثم تصطدم هذه الذرات بالركيزة مكوِّنةً طلاءً.
الاخرق بالتيار المستمر هو نوع محدد من الاخرق بالكاثود الذي يستخدم التفريغ الغازي بالتيار المستمر.
يعمل الهدف كمصدر للترسيب، وقد تعمل الركيزة وجدران غرفة التفريغ كأنبوب، ومصدر الطاقة هو مصدر تيار مستمر عالي الجهد.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات رش كاثود عالي الجودة لمختبرك أو منشأة البحث الخاصة بك؟لا تبحث أكثر من KINTEK! تم تصميم آلاتنا المتطورة لتقديم عمليات رش دقيق وفعالة، مما يتيح لك ترسيب الأغشية الرقيقة بسهولة. سواء أكنت بحاجة إلى طلاء الرذاذ للفحص المجهري الإلكتروني أو تطبيقات أخرى، فإن معداتنا ستلبي احتياجاتك.لا تتنازل عن الجودة - اختر KINTEK لجميع متطلباتك في طلاء الكاثود الاخرق. اتصل بنا اليوم لمزيد من المعلومات والحصول على عرض أسعار مخصص!
