الاخرق الكاثودي هو عملية تستخدم في ترسيب الأغشية الرقيقة حيث يتم قصف هدف صلب بواسطة أيونات عالية الطاقة. يتم تحقيق هذه العملية عن طريق إنشاء تفريغ متوهج بين قطبين كهربائيين داخل جو مخلخل تحت ظروف الفراغ. القطبان هما الهدف (الكاثود) والركيزة (الأنود).
في الاخرق الكاثود، يتم تطبيق مجال DC لإنشاء التفريغ بين الأقطاب الكهربائية. عن طريق إدخال غاز خامل، عادة الأرجون، يتم تشكيل البلازما من خلال تأين الغاز. يتم بعد ذلك تسريع أيونات الأرجون موجبة الشحنة نحو الهدف سالب الشحنة (الكاثود)، مما يؤدي إلى تناثر مادة الكاثود.
يتم بعد ذلك ترسيب المادة المتناثرة، على شكل ذرات أو جزيئات، على الركيزة، لتشكل طبقة رقيقة أو طلاء. يتراوح سمك المادة المودعة عادة من 0.00005 إلى 0.01 ملم. تشمل المواد الشائعة المستخدمة كرواسب مستهدفة الكروم والتيتانيوم والألومنيوم والنحاس والموليبدينوم والتنغستن والذهب والفضة.
الاخرق هو عملية الحفر التي تغير الخصائص الفيزيائية للسطح. يمكن استخدامه في العديد من التطبيقات، بما في ذلك طلاء الركائز للتوصيل الكهربائي، وتقليل الضرر الحراري، وتعزيز انبعاث الإلكترون الثانوي، وتوفير أغشية رقيقة لمسح المجهر الإلكتروني.
تتضمن تقنية الرش إدخال غاز خاضع للرقابة، عادة الأرجون، إلى غرفة مفرغة. يتم تنشيط الكاثود، أو الهدف، كهربائيًا لتوليد بلازما ذاتية الاستدامة. تصبح ذرات الغاز داخل البلازما أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات ثم يتم تسريعها نحو الهدف. يؤدي التأثير إلى خلع الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى إنشاء تيار بخار. تمر هذه المادة المتناثرة عبر الحجرة وتترسب على الركيزة كفيلم أو طلاء.
في نظام الاخرق، الكاثود هو هدف التفريغ الغازي، والركيزة بمثابة الأنود. تقصف الأيونات النشطة، عادة أيونات الأرجون، الهدف، مما يتسبب في طرد ذرات الهدف. ثم تصطدم هذه الذرات بالركيزة لتشكل طبقة.
إن الرش بالتيار المستمر هو نوع محدد من الرش بالكاثود الذي يستخدم التفريغ الغازي للتيار المستمر. يعمل الهدف كمصدر للترسيب، وقد تعمل الركيزة وجدران غرفة التفريغ بمثابة الأنود، ومصدر الطاقة هو مصدر تيار مستمر عالي الجهد.
هل تبحث عن معدات رش الكاثود عالية الجودة لمختبرك أو منشأة الأبحاث الخاصة بك؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! تم تصميم أجهزتنا الحديثة لتقديم عمليات رش دقيقة وفعالة، مما يسمح لك بإيداع الأغشية الرقيقة بسهولة. سواء كنت بحاجة إلى طلاء بالرش للمجهر الإلكتروني أو تطبيقات أخرى، فإن معداتنا ستلبي احتياجاتك. لا تتنازل عن الجودة - اختر KINTEK لجميع متطلبات رش الكاثود لديك. اتصل بنا اليوم للحصول على مزيد من المعلومات والاقتباس الشخصي!
