غرفة الاخرق هي بيئة تفريغ متخصصة مصممة لعملية الاخرق.
والرش هو طريقة لترسيب الأغشية الرقيقة على مادة الركيزة.
ويتم ذلك عن طريق طرد الذرات من مادة مستهدفة من خلال القصف بجسيمات عالية الطاقة.
تم تجهيز الغرفة للحفاظ على تفريغ عالي وإدخال غاز الاخرق مثل الأرجون والتحكم في الضغط لتسهيل عملية الترسيب.
ما هي غرفة الاخرق؟ شرح 5 نقاط رئيسية
1. بيئة عالية التفريغ
يتم تفريغ غرفة الاخرق أولاً إلى تفريغ عالٍ للتقليل من وجود غازات الخلفية.
ويعد هذا التفريغ العالي أمرًا بالغ الأهمية لأنه يقلل من التلوث ويسمح بالتحكم الدقيق في عملية الاخرق.
عادةً ما يكون الضغط الأساسي الذي يتم تحقيقه في الغرفة منخفضًا جدًا، وغالبًا ما يكون في نطاق ميكرو- إلى نانو-تور، اعتمادًا على المتطلبات المحددة لعملية الاخرق.
2. إدخال غاز الاخرق
بعد تحقيق مستوى التفريغ المطلوب، يتم إدخال غاز الاخرق، وعادةً ما يكون الأرجون، في الغرفة.
ويُستخدم الأرجون عادةً لأنه خامل ولا يتفاعل مع معظم المواد.
يتم التحكم في ضغط غاز الأرغون بعناية للحفاظ على الظروف المثلى للإسبترة.
يتم تأين الغاز داخل الغرفة، عادةً من خلال عملية تنطوي على مجال كهربائي عالي الجهد، والذي يشكل بلازما.
3. القصف والترسيب
يتم تسريع ذرات الأرجون المتأينة (أيونات الأرجون) نحو المادة المستهدفة (مصدر الذرات المراد ترسيبها) بسبب المجال الكهربائي.
عندما تصطدم هذه الأيونات عالية الطاقة بالهدف، فإنها تزيح الذرات من سطح الهدف.
ثم تنتقل هذه الذرات المزاحة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة يتم تركيبها عادةً على حامل داخل الحجرة.
صُمم حامل الركيزة للسماح بتحديد موضع الركيزة وحركتها بدقة للتحكم في نمط الترسيب وتوحيده.
4. تحضير الركيزة ومعالجتها
قبل بدء عملية الاخرق، يتم تحضير الركيزة وتثبيتها بإحكام على حامل.
ثم يتم وضع هذا الحامل في حجرة قفل التحميل، مما يساعد على الحفاظ على سلامة التفريغ في حجرة الترسيب الرئيسية.
بمجرد تفريغ قفل التحميل لمطابقة تفريغ الغرفة الرئيسية، يتم نقل الركيزة إلى منطقة الترسيب.
5. المزايا والتطبيقات
يعتبر الاخرق مفيدًا بشكل خاص في ترسيب الأغشية الرقيقة من المواد التي يصعب ترسيبها بطرق أخرى، مثل المعادن ذات نقاط الانصهار العالية أو السبائك.
تكون الأغشية التي يتم إنتاجها عن طريق الاخرق متجانسة ورقيقة للغاية ولها رابطة قوية مع الركيزة، مما يجعل العملية مثالية للتطبيقات في أشباه الموصلات والأجهزة البصرية وغيرها من الصناعات عالية التقنية.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل أنت مستعد لرفع مستوى البحث والتطوير الخاص بك مع حلول ترسيب الأغشية الرقيقة المتطورة؟
في KINTEK SOLUTION، نحن متخصصون في غرف التفريغ عالية التفريغ التي تضمن الدقة والتوحيد والجودة في عمليات ترسيب الأغشية الخاصة بك.
اكتشف الفرق في أداء الركيزة مع تقنيتنا المبتكرة.
اطلب استشارة اليوم ودع KINTEK SOLUTION تقود تقدمك العلمي إلى آفاق جديدة!
