الاخرق هو تقنية ترسيب فيزيائي للبخار تتضمن استخدام البلازما لقذف الذرات من مادة مستهدفة صلبة، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والمكونات الأخرى عالية الدقة نظرًا لقدرتها على إنشاء أغشية ذات تجانس وكثافة ونقاء والتصاق ممتازين.
ملخص الإجابة:
الاسبترينغ هو عملية تُستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز باستخدام البلازما لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة. وهي تقنية متعددة الاستخدامات يمكن تطبيقها على المواد الموصلة والعازلة على حد سواء، ويمكنها إنتاج أغشية ذات تركيب كيميائي دقيق.
-
شرح مفصل:آلية الاخرق:
-
يعمل الاخرق باستخدام الغاز المتأين (البلازما) لاستئصال أو "رش" المادة المستهدفة. يتم قصف الهدف بجسيمات عالية الطاقة، عادةً من غاز مثل الأرجون، والتي تتأين وتتسارع نحو الهدف. عندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تزيح الذرات من سطحه. ثم تنتقل هذه الذرات المنزاحة عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
-
أنواع الاخرق:
-
هناك عدة أنواع من عمليات الاصطرار، بما في ذلك الاصطرار بالتيار المباشر (DC)، والاصطرار بالترددات الراديوية (RF)، والاصطرار بالتردد المتوسط (MF)، والاصطرار بالتيار المستمر النبضي (DC)، والاصطرار المغنطروني النبضي عالي الطاقة (HiPIMS). لكل نوع تطبيقاته ومزاياه الخاصة، اعتمادًا على متطلبات عملية الترسيب.تطبيقات الاخرق:
-
يُستخدم الاخرق في صناعات مختلفة لترسيب الأغشية الرقيقة من المواد التي يصعب ترسيبها باستخدام طرق أخرى، مثل المعادن ذات درجات الانصهار العالية والسبائك. وهو أمر بالغ الأهمية في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات والطلاءات البصرية ومنتجات تكنولوجيا النانو. وتُستخدم هذه التقنية أيضًا في تقنيات الحفر والتحليل الدقيق نظرًا لقدرتها على العمل على طبقات دقيقة للغاية من المواد.
مزايا الاخرق:
