الهدف في عملية الاخرق هو قرص رقيق أو صفيحة رقيقة من المواد المستخدمة لترسيب أغشية رقيقة على ركيزة، مثل رقاقة السيليكون. وتتضمن العملية طرد الذرات فيزيائياً من سطح الهدف عن طريق قصفه بالأيونات، وعادةً ما تكون من غاز خامل مثل الأرجون. ثم تنتقل هذه الذرات المقذوفة عبر حجرة التفريغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة وموحدة.
شرح مفصل:
-
تكوين وشكل أهداف الاخرق:
-
تُصنع أهداف الاخرق عادةً من المعادن أو السيراميك أو البلاستيك، اعتمادًا على التطبيق المطلوب. يتم تشكيلها على شكل أقراص أو صفائح رقيقة يتم تركيبها في غرفة تفريغ حيث تتم عملية الاخرق.عملية الاخرق:
-
تبدأ عملية الاخرق بإدخال ركيزة في غرفة تفريغ تحتوي على الهدف. يتم إدخال غاز خامل، مثل الأرجون، في الغرفة. يتم تسريع أيونات هذا الغاز نحو الهدف باستخدام المجالات الكهربائية. وعندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تنقل الطاقة، مما يتسبب في طرد الذرات من الهدف.
-
ترسيب الأغشية الرقيقة:
-
تنتقل الذرات المقذوفة من الهدف عبر الحجرة وتترسب على الركيزة. ويضمن الضغط المنخفض والبيئة التي يتم التحكم فيها في الحجرة ترسيب الذرات بشكل متساوٍ، مما ينتج عنه طبقة رقيقة ذات سمك متناسق. وهذه العملية ضرورية للتطبيقات التي تتطلب طلاءات دقيقة وموحدة، كما هو الحال في الإلكترونيات الدقيقة والخلايا الشمسية.تطبيقات أهداف الاخرق:
تُستخدم أهداف الاخرق على نطاق واسع في مختلف الصناعات. في الإلكترونيات الدقيقة، تُستخدم في ترسيب مواد مثل الألومنيوم والنحاس والتيتانيوم على رقائق السيليكون لإنشاء أجهزة إلكترونية. في الخلايا الشمسية، تُستخدم الأهداف المصنوعة من مواد مثل الموليبدينوم لإنتاج أغشية رقيقة موصلة. بالإضافة إلى ذلك، تُستخدم أهداف الاخرق في إنتاج الطلاءات الزخرفية والإلكترونيات الضوئية.
