فريق التقنية · Kintek Solution

الهدف في عملية الاخرق هو قطعة صلبة من المواد التي تعمل كمصدر لإنشاء طبقة رقيقة على الركيزة.وعادةً ما يكون الهدف مسطحاً أو أسطواني الشكل ويتم قصفه بالطاقة لقذف جسيمات بحجم ذري تترسب بعد ذلك على الركيزة.يجب أن يكون الهدف كبيراً بما فيه الكفاية لتجنب الاخرق غير المقصود للمكونات الأخرى، ويكون سطحه دائماً أكبر من المساحة الفعلية التي يتم الاخرق فيها.وبمرور الوقت، تُطوِّر الأهداف المستخدمة أخاديد أعمق أو مناطق من الاخرق السائد، وغالبًا ما يشار إليها باسم \"مسارات السباق\".

شرح النقاط الرئيسية:

1. تعريف الهدف ودوره في عملية الاخرق:

   • الهدف هو المادة الصلبة المستخدمة في عملية الاخرق لإنشاء طلاء غشاء رقيق.
   • وهو يعمل كمصدر للمواد الخام، حيث يتم قذف الجسيمات ذات الحجم الذري وترسيبها على الركيزة.

2. الخصائص الفيزيائية للهدف:

   • تكون الأهداف عادةً مسطحة أو أسطوانية الشكل.
   • يجب أن تكون كبيرة بما يكفي لمنع حدوث رش غير مقصود للمحامل المعدنية أو المكونات الأخرى.
   • يكون السطح المستهدف دائمًا أكبر من المساحة الفعلية التي يتم رشها لضمان ترسيب موحد وتجنب تأثيرات الحواف.

3. عملية الاخرق وتفاعل الهدف:

   • في الرش المغنطروني المغنطروني، يتم وضع مغنطرون بالقرب من الهدف، ويتم إدخال غاز خامل (مثل الأرجون) في غرفة التفريغ.
   • يتم تطبيق جهد عالي بين الهدف والركيزة، مما يؤدي إلى تسريع أيونات الغاز نحو الهدف.
   • ويؤدي قصف الهدف بواسطة هذه الأيونات إلى قذف جسيمات بحجم الذرة، والتي تشكل بعد ذلك طبقة رقيقة على الركيزة.

4. تآكل الهدف و \"مسارات السباق\":

   • بمرور الوقت، يطور السطح المستهدف أخاديد أو مناطق أعمق حيث يكون الاهتراء هو السائد.
   • وغالبًا ما يشار إلى هذه المناطق البالية باسم \"مسارات السباق\" نظرًا لمظهرها المميز.
   • يشير تشكيل مسارات السباق إلى أن الهدف يقترب من نهاية عمره الافتراضي القابل للاستخدام.

5. مثال:أهداف الذهب:

   • أهداف الذهب هي أقراص من الذهب النقي تستخدم خصيصًا لترسيب أغشية الذهب الرقيقة.
   • يتم قصفها بالطاقة لإخراج ذرات الذهب التي تترسب بعد ذلك على الركيزة لتشكيل طبقة ذهبية موحدة.

6. أهمية حجم الهدف وشكله:

   • يعد حجم الهدف وشكله أمرًا بالغ الأهمية لضمان كفاءة واتساق الاخرق.
   • وتساعد مساحة السطح المستهدفة الأكبر على تجنب الاخرق غير المقصود للمكونات الأخرى وتضمن معدلات ترسيب متسقة.

7. التطبيق في ترسيب الأغشية الرقيقة:

   • الأهداف ضرورية في مختلف الصناعات، بما في ذلك تصنيع أشباه الموصلات والبصريات والطلاءات الزخرفية.
   • ويعتمد اختيار المادة المستهدفة على الخصائص المرغوبة للغشاء الرقيق، مثل التوصيل أو الانعكاسية أو مقاومة التآكل.

من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن لمشتري معدات الاخرق أو المواد الاستهلاكية اتخاذ قرارات مستنيرة بشأن اختيار الأهداف وصيانتها لتحسين عملية الاخرق وتحقيق طلاءات الأغشية الرقيقة عالية الجودة.

جدول ملخص:

الجانب الرئيسي	التفاصيل
تعريف	مادة صلبة تُستخدم لإنشاء طلاءات رقيقة عن طريق الرش الرقيق.
الشكل	مسطح أو أسطواني الشكل عادةً.
الحجم	أكبر من المساحة المبثوقة لتجنب الاخرق غير المقصود.
عملية	يتم قصفها بالطاقة لقذف الجسيمات التي تترسب على الركيزة.
البلى والتآكل	تتطور "مسارات السباق" بمرور الوقت، مما يشير إلى اقتراب نهاية العمر الافتراضي للاستخدام.
مثال	أهداف ذهبية لترسيب أغشية الذهب الرقيقة.
التطبيقات	يُستخدم في أشباه الموصلات والبصريات والطلاءات الزخرفية.

هل أنت مستعد لتحسين عملية الاخرق لديك؟ اتصل بخبرائنا اليوم للحصول على حلول مصممة خصيصاً لك!