البلازما المغنطرونية هي نوع من البلازما التي يتم إنشاؤها في الرش المغنطروني المغنطروني، وهي عملية ترسيب بخار البلازما (PVD).
في الرش المغنطروني المغنطروني، يتم تشكيل بلازما ويتم تسريع الأيونات الموجبة الشحنة بواسطة مجال كهربائي نحو قطب كهربائي سالب الشحنة أو "هدف".
وعادة ما يكون هذا الهدف مصنوعًا من المادة التي سيتم ترسيبها على الركيزة.
ويتم تسريع الأيونات الموجبة في البلازما بواسطة إمكانات تتراوح بين بضع مئات وبضعة آلاف إلكترون فولت وتضرب الهدف بقوة كافية لإزاحة الذرات وقذفها من سطحه.
ثم تُقذف هذه الذرات بعد ذلك في توزيع نموذجي لخط البصر وتتكثف على الأسطح الموضوعة بالقرب من كاثود الاخرق المغنطروني.
ويلعب المغنطرون، وهو تصميم مصادر الرش المغنطروني عالي معدل الترسيب، دوراً حاسماً في الرش المغنطروني.
وهو عبارة عن تفريغ بمساعدة مغناطيسية حيث يتم إضافة مغناطيس دائم أو مغناطيس كهربائي لإنشاء خطوط من التدفق المغناطيسي الموازي لسطح الهدف.
ويركز هذا المجال المغناطيسي البلازما ويكثفها بالقرب من سطح الهدف، مما يؤدي إلى تعزيز قصف الأيونات ومعدل الاخرق.
يتحكم المجال المغناطيسي في الاخرق المغنطروني أيضًا في مسار انتقال البلازما.
تمتد الخطوط المغناطيسية التي يشكلها المغنطرون من أحد طرفي الهدف إلى الطرف الآخر.
ويزيد تأثير حبس المجال المغناطيسي هذا من نسبة التأين ومعدل ترسيب الطلاء عند درجات حرارة منخفضة.
كما أنه يساعد على تقليل اندماج الغاز في الفيلم وتقليل فقد الطاقة في الذرات المنبثقة.
وعمومًا، فإن الرش المغنطروني المغنطروني هو تقنية طلاء قائمة على البلازما تتضمن تصادم أيونات نشطة موجبة الشحنة من بلازما محصورة مغناطيسيًا مع مادة مستهدفة سالبة الشحنة.
ويتسبب هذا التصادم في طرد أو رش الذرات من الهدف، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة.
يُعرف الرش بالمغناطيسية بقدرته على إنتاج أغشية عالية الجودة وقابليته للتطوير مقارنةً بطرق PVD الأخرى.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن حلول فعالة لترسيب الأغشية الرقيقة؟ لا تبحث أكثر من KINTEK! تعمل معدات البلازما المغنطرونية المتطورة لدينا على تحسين معدلات القصف الأيوني والرش، مما يوفر كفاءة ترسيب فائقة. عزز أبحاثك وإنتاجك باستخدام تقنيتنا المتقدمة.اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة والارتقاء بمشاريعك إلى المستوى التالي!
