الرذاذ المغنطروني هو تقنية ترسيب بخار فيزيائي (PVD) تتضمن استخدام البلازما لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. تتميز هذه الطريقة بدرجة حرارة الترسيب المنخفضة ومعدل الترسيب المرتفع والقدرة على إنتاج أغشية موحدة وكثيفة على مساحات كبيرة.
ملخص الإجابة:
الرش المغنطروني المغنطروني هو تقنية PVD حيث يتم توليد بلازما وحصرها بالقرب من المادة المستهدفة في غرفة تفريغ. تُقصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة من البلازما، مما يؤدي إلى قذف الذرات وترسيبها على الركيزة وتشكيل طبقة رقيقة. ويتم تعزيز هذه العملية عن طريق استخدام مجال مغناطيسي، مما يزيد من كفاءة توليد البلازما ومعدل الاخرق.
-
الشرح التفصيلي:توليد البلازما:
-
في عملية الرش المغنطروني، يتم توليد البلازما عن طريق تطبيق مجال كهربائي على غاز، عادةً ما يكون الأرجون، داخل غرفة مفرغة. يؤدي هذا إلى تأيين الغاز، مما يخلق سحابة من الأيونات والإلكترونات عالية الطاقة.
-
قصف المادة المستهدفة:
-
توضع المادة المستهدفة، وهي المادة المراد ترسيبها، في مسار البلازما. تتصادم الأيونات عالية الطاقة في البلازما مع الهدف، مما يتسبب في طرد الذرات من سطحه.الترسيب على الركيزة:
-
تنتقل الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة توضع عادةً مقابل الهدف داخل الغرفة. تشكل هذه العملية طبقة رقيقة على الركيزة.
-
التعزيز بواسطة المجال المغناطيسي:
يتم تطبيق مجال مغناطيسي في تكوين يحبس الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف، مما يزيد من احتمال حدوث تصادمات بين الإلكترونات وذرات الأرجون. ويعزز ذلك من كثافة البلازما ومعدل انبعاث الذرات من الهدف، وبالتالي زيادة كفاءة عملية الاخرق.الاختلافات في الاخرق المغنطروني:
