الرش بالترددات الراديوية أو الرش بالترددات الراديوية هو عملية تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة، خاصة على المواد غير الموصلة. وتنطوي هذه التقنية على استخدام موجات التردد اللاسلكي لتأيين غاز خامل، مما يخلق أيونات موجبة تقصف المادة المستهدفة. ثم يتم تكسير المادة المستهدفة إلى رذاذ ناعم يغطي الركيزة مكوناً طبقة رقيقة.
ملخص رش الرذاذ بالترددات اللاسلكية:
الرش بالترددات اللاسلكية هو تقنية ترسيب غشاء رقيق يستخدم موجات الترددات الراديوية لتأيين الغاز ورذاذ المواد المستهدفة على الركيزة. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص للمواد غير الموصلة للكهرباء بسبب قدرتها على تبديل الجهد الكهربائي ومنع تراكم الشحنات.
-
الشرح التفصيلي:تأيين الغاز الخامل:
-
في الاخرق بالترددات اللاسلكية، يتم إدخال غاز خامل مثل الأرجون في غرفة تفريغ. وتُستخدم موجات التردد اللاسلكي، عادةً بتردد 13.56 ميجاهرتز، لتأيين الغاز. وتنتج عملية التأين هذه أيونات موجبة من ذرات الغاز.
-
قصف المادة المستهدفة:
-
يتم بعد ذلك تسريع الأيونات الموجبة نحو المادة المستهدفة بواسطة المجال الكهربائي الناتج عن موجات التردد الراديوي. عندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تتسبب في قذف ذرات أو جزيئات من الهدف (تناثر) بسبب انتقال الزخم.الترسيب على الركيزة:
-
تشكل المادة المنبثقة من الهدف طبقة رقيقة على ركيزة قريبة. توضع هذه الركيزة عادةً مقابل الهدف داخل غرفة التفريغ. وتستمر العملية حتى يتم تحقيق السماكة المطلوبة للفيلم.
مزايا المواد غير الموصلة:
يعتبر رش الترددات اللاسلكية مناسباً بشكل خاص لترسيب الأغشية الرقيقة على المواد غير الموصلة للكهرباء. ويمنع الجهد الكهربائي المتناوب لموجات التردد اللاسلكي تراكم الشحنات على الهدف، وهي مشكلة شائعة في رش التيار المباشر (DC). هذا النقص في تراكم الشحنات يجنب تراكم الشحنات ويضمن عملية ترسيب أكثر اتساقاً وتحكماً.
