في عملية الرش بالرش، يكون الهدف عبارة عن قطعة صلبة من مادة تُستخدم لترسيب طبقة رقيقة على ركيزة.
وتنطوي هذه العملية على طرد الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة بسبب قصفها بجسيمات نشطة.
وعادةً ما تكون هذه الجسيمات أيونات غاز خامل مثل الأرجون.
ثم تشكل المادة المنبثقة طبقة على الركيزة الموضوعة داخل غرفة التفريغ.
خصائص الهدف وأنواعه
عادةً ما تكون الأهداف في أنظمة الرش بالمبخرة عبارة عن ألواح صلبة بأحجام وأشكال مختلفة.
ويمكن أن تتراوح من مسطحة إلى أسطوانية اعتمادًا على المتطلبات المحددة لهندسة البلازما.
تُصنع هذه الأهداف من مجموعة متنوعة من المواد بما في ذلك المعادن النقية والسبائك والمركبات مثل الأكاسيد أو النيتريدات.
ويعتمد اختيار المادة المستهدفة على الخصائص المرغوبة للفيلم الرقيق المراد ترسيبه.
عملية الاخرق
أثناء عملية الاخرق، يتم إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
يتم تطبيق تفريغ كهربائي على المهبط، الذي يضم المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تكوين بلازما.
في هذه البلازما، تتأين ذرات الأرجون وتتسارع نحو الهدف.
وتتصادم مع المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات أو الجزيئات.
وتشكل هذه الجسيمات المقذوفة تيار بخار ينتقل عبر الحجرة ويرسب على الركيزة مكونًا طبقة رقيقة.
أمثلة وتطبيقات محددة
على سبيل المثال، يتم تصنيع هدف رش السيليكون من سبيكة السيليكون.
ويمكن تصنيعه باستخدام طرق مختلفة مثل الطلاء الكهربائي، أو الاخرق أو ترسيب البخار.
تتم معالجة هذه الأهداف للتأكد من أن لها ظروف سطح مرغوبة، مثل الانعكاسية العالية وخشونة السطح المنخفضة.
وهذا أمر بالغ الأهمية لجودة الأفلام المودعة.
تتميز الأغشية التي تنتجها هذه الأهداف بانخفاض عدد الجسيمات، مما يجعلها مناسبة للتطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الشمسية.
الخلاصة
باختصار، يعد الهدف في عملية الاخرق مكونًا حاسمًا يحدد تركيبة المادة وخصائص الطبقة الرقيقة المترسبة على الركيزة.
تتضمن عملية الاخرق استخدام البلازما لقذف المواد من الهدف.
ثم تترسب هذه المادة على الركيزة لتشكل طبقة رقيقة ذات خصائص محددة مرغوبة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل أنت مستعد للارتقاء بعمليات ترسيب الأغشية الرقيقة بدقة وجودة؟ تقدم KINTEK مجموعة واسعة من أهداف الترسيب عالية الأداء المصممة خصيصًا لتلبية المعايير الصارمة لتطبيقاتك. سواء كنت تعمل في مجال تصنيع أشباه الموصلات أو تكنولوجيا الخلايا الشمسية أو أي مجال آخر يتطلب أغشية رقيقة فائقة، فإن أهدافنا مصممة لتحقيق نتائج استثنائية.جرب فرق KINTEK وعزز قدراتك البحثية والإنتاجية. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد عن منتجاتنا وكيف يمكن أن تفيد مشاريعك!
