في عملية الرش بالكاثود، يكون الكاثود هو المادة المستهدفة التي يتم قصفها بالأيونات النشطة، وعادةً ما تكون أيونات الأرجون، من بلازما التفريغ الغازي. وعادةً ما يكون الأنود هو الركيزة أو جدران غرفة التفريغ حيث تترسب ذرات الهدف المقذوفة، مكونةً طلاءً.
شرح الكاثود:
الكاثود في نظام الاخرق هو المادة المستهدفة التي تتلقى شحنة سالبة ويتم قصفها بأيونات موجبة من غاز الاخرق. ويحدث هذا القصف بسبب تطبيق مصدر تيار مستمر عالي الجهد في نظام الاخرق بالتيار المستمر، مما يسرع الأيونات الموجبة نحو الهدف سالب الشحنة. والمادة المستهدفة، التي تعمل بمثابة المهبط، هي المكان الذي تحدث فيه عملية الاخرق الفعلية. تصطدم الأيونات النشطة بسطح المهبط، مما يتسبب في طرد الذرات من المادة الهدف.شرح الأنود:
عادةً ما يكون القطب الموجب في عملية الاخرق هو الركيزة التي سيتم ترسيب الطلاء عليها. في بعض الإعدادات، قد تعمل جدران غرفة التفريغ أيضًا كأنود. توضع الركيزة في مسار الذرات المقذوفة من المهبط، مما يسمح لهذه الذرات بتكوين طبقة رقيقة على سطحها. يتم توصيل الأنود بالأرض الكهربائية، مما يوفر مسار عودة للتيار ويضمن الاستقرار الكهربائي للنظام.
تفاصيل العملية:
تبدأ عملية الاخرق بتأين الغاز الخامل في غرفة التفريغ، وعادةً ما يكون الأرجون. تكون المادة المستهدفة (المهبط) سالبة الشحنة، مما يجذب أيونات الأرجون موجبة الشحنة. تتسارع هذه الأيونات نحو المهبط بسبب الجهد المطبق وتتصادم مع المادة المستهدفة وتخرج الذرات. ثم تنتقل هذه الذرات المقذوفة وتترسب على الركيزة (القطب الموجب)، مكونة طبقة رقيقة. وتتطلب العملية تحكمًا دقيقًا في طاقة الأيونات وسرعتها، والتي يمكن أن تتأثر بالمجالات الكهربائية والمغناطيسية، لضمان ترسيب الطلاء الفعال.
