الاخرق هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة.
وهي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة، وعادةً ما تكون أيونات.
ثم يتم ترسيب هذه الذرات المقذوفة على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة.
وتُستخدم هذه العملية على نطاق واسع في صناعات مختلفة لتطبيقات مثل معالجة أشباه الموصلات والبصريات الدقيقة والتشطيب السطحي.
ما هي طريقة الاخرق التقليدية؟ شرح 6 خطوات رئيسية
1. إعداد غرفة التفريغ
يتم وضع المادة المستهدفة، وهي مصدر الذرات المراد ترسيبها، والركيزة، حيث يحدث الترسيب، داخل غرفة تفريغ.
هذه البيئة مهمة للغاية لأنها تقلل من التلوث وتسمح بالتحكم الدقيق في عملية الترسيب.
2. إدخال الغاز
يتم إدخال كمية مضبوطة من الغاز، عادةً الأرجون، في الغرفة.
ويتم اختيار الأرجون بسبب خموله الكيميائي، مما يمنع التفاعلات الكيميائية غير المرغوب فيها أثناء عملية الرش.
3. توليد البلازما
يتم تطبيق جهد كهربائي بين الهدف والركيزة، مما يجعل الهدف هو القطب السالب.
يعمل فرق الجهد الكهربائي هذا على تأيين غاز الأرجون، مما يؤدي إلى تكوين بلازما.
في البلازما، تفقد ذرات الأرجون الإلكترونات وتصبح أيونات موجبة الشحنة.
4. القصف بالأيونات والرشّ بالأيونات
يتم تسريع أيونات الأرجون موجبة الشحنة بواسطة المجال الكهربائي نحو الهدف سالب الشحنة.
وعند الاصطدام، يكون لهذه الأيونات طاقة كافية لإزاحة الذرات أو الجزيئات من سطح الهدف.
تُعرف هذه العملية باسم الاخرق.
5. ترسيب الغشاء الرقيق
تشكل مادة الهدف المقذوفة بخاراً ينتقل عبر الحجرة ويرسب على الركيزة.
وينتج عن هذا الترسيب غشاء رقيق ذو خصائص تماثل وكثافة والتصاق ممتازة.
6. أنواع الاخرق
توجد أنواع مختلفة من تقنيات الاصطرار، بما في ذلك الاصطرار الكاثودي، واصطرار الصمام الثنائي، واصطرار الترددات اللاسلكية أو التيار المستمر، واصطرار الحزمة الأيونية، والاصطرار التفاعلي.
وتختلف هذه الطرق في المقام الأول في طريقة توليد البلازما والتحكم فيها، ولكن تظل العملية الأساسية لقذف الذرات والترسيب كما هي.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
أطلق العنان للدقة المتطورة لتكنولوجيا الأغشية الرقيقة مع مجموعة أنظمة الرش الرقيقة من KINTEK SOLUTION.
من المعالجة المتطورة لأشباه الموصلات إلى التشطيب السطحي المتطور، تضمن حلولنا المتقدمة في مجال الرش بالمطرقة أعلى جودة للأغشية مع توحيد وتماسك استثنائيين.
اكتشف الفرق مع KINTEK - حيث يلبي الابتكار الاحتياجات الفريدة لصناعتك.
استكشف مخزوننا وارتقِ بتطبيقات الأغشية الرقيقة اليوم!
