ترسيب الأغشية الرقيقة هي عملية تُستخدم في الصناعة لتطبيق طلاء رقيق على ركيزة ما، عادةً لتعزيز أو تعديل خصائص سطحها. هذه التقنية حاسمة في تطبيقات مختلفة، بما في ذلك الإلكترونيات والبصريات وعلوم المواد، حيث تُستخدم الأغشية الرقيقة لتحسين المتانة ومقاومة التآكل والتآكل وتغيير الخصائص البصرية أو الكهربائية.
نظرة عامة على العملية:
تبدأ عملية الترسيب بانبعاث جسيمات من مصدر، والتي يمكن أن تنبعث من الحرارة أو الجهد العالي أو أشكال الطاقة الأخرى. ثم يتم نقل هذه الجسيمات إلى الركيزة، حيث تتكثف وتشكل طبقة صلبة. والطريقتان الأساسيتان لترسيب الأغشية الرقيقة هما الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD).ترسيب البخار الكيميائي (CVD):
تتضمن CVD تفاعل المركبات الغازية لتشكيل طبقة رقيقة صلبة على ركيزة. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات وتسمح بالتحكم الدقيق في سمك الطبقة الرقيقة وتكوينها.
الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD):
من ناحية أخرى، ينطوي الترسيب الفيزيائي بالبخار الكهروضوئي على إزالة المواد فعلياً من مصدر وترسيبها على ركيزة. وتشمل تقنيات الترسيب بالترسيب الفيزيائي بالتقنية الفيزيائية (PVD) التبخير بالرش والتبخير بالتبخير، والتي يمكن تصنيفها إلى التبخير الحراري والتبخير بالحزمة الإلكترونية. تشتهر تقنية PVD بقدرتها على إنتاج أفلام عالية النقاء والكثافة.خصائص الأغشية الرقيقة:
يبلغ سمك الأغشية الرقيقة عادةً أقل من 1000 نانومتر ويمكن أن يتراوح سمكها من طبقة أحادية من الذرات إلى عدة ميكرومترات. وتوضع المادة المراد ترسيبها في بيئة نشطة، غالباً ما تكون داخل غرفة مفرغة من الهواء، لتسهيل هروب الجسيمات وترسيبها اللاحق على سطح الركيزة المبردة. وينتج عن عملية الترسيب الاتجاهي هذه أفلام غير مطابقة بل تتماشى مع اتجاه انتقال الجسيمات.
التطبيقات والفوائد:
