يكمن الفرق الأساسي بين المغنطرون المتوازن وغير المتوازن في تكوين مجالاتها المغناطيسية وتأثيرها على عملية الاخرق وخصائص الفيلم الناتج.
المغنطرون المتوازن:
في المغنطرون المغنطروني المتوازن، يتم توزيع المجال المغناطيسي بشكل متناظر حول الهدف، مما يخلق تفريغ بلازما مستقر يحصر الإلكترونات والأيونات بالقرب من سطح الهدف. يؤدي هذا التكوين إلى نمط تآكل موحد على الهدف ومعدل ترسيب ثابت. ومع ذلك، فإن المجال المغناطيسي لا يمتد بشكل كبير إلى ما وراء الهدف، مما يؤدي إلى انخفاض تدفق الأيونات نحو الركيزة، مما قد يحد من طاقة الأيونات التي تقصف الركيزة وجودة الفيلم بشكل عام.المغنطرون غير المتوازن:
- على النقيض من ذلك، يتميز المغنطرون غير المتوازن بمجال مغناطيسي أقوى على جانب واحد (عادةً الجانب الخارجي) من الجانب الآخر. يؤدي هذا الاختلال في التوازن إلى امتداد خطوط المجال المغناطيسي إلى داخل غرفة التفريغ، مما يسمح لمزيد من الإلكترونات بالهروب من منطقة الهدف والتفاعل مع ذرات الغاز، وبالتالي زيادة كثافة البلازما بالقرب من الركيزة. وتؤدي هذه الكثافة المتزايدة للبلازما إلى تدفق أيونات وطاقة أعلى عند الركيزة، مما يعزز القصف الأيوني ويحسن خصائص الفيلم مثل الالتصاق والكثافة والصلابة. ويُعد المغنطرون غير المتوازن مفيدًا بشكل خاص لترسيب الأفلام على ركائز ذات أشكال هندسية معقدة وفي أحجام أكبر من الغرفة، حيث يمكنه الحفاظ على معدل ترسيب مرتفع وجودة الفيلم على مسافات أكبر بين الهدف والركيزة.الملخص:
- مغنطرون متوازن: مجال مغناطيسي متماثل، تآكل منتظم للهدف، وتدفق أيوني أقل إلى الركيزة، ومناسب لترسيب غشاء موحد.
مغنطرون غير متوازن:
مجال مغناطيسي غير متماثل، وزيادة كثافة البلازما بالقرب من الركيزة، وتدفق أيونات وطاقة أعلى، وتحسين خصائص الأغشية، ومناسبة للأشكال الهندسية المعقدة والأنظمة الأكبر حجمًا.
