يكمن الفرق الرئيسي بين الرش المغنطروني بالتيار المستمر والرش المغنطروني بالترددات الراديوية في نوع الجهد المطبق على الهدف. في رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المستمر، يتم تطبيق جهد ثابت، بينما في رش المغنطرون بالترددات الراديوية يتم استخدام جهد متناوب على ترددات راديوية. هذا التمييز له العديد من الآثار المترتبة على عملية الاخرق وأنواع المواد التي يمكن أن يتم رشها بفعالية.
الرش المغنطروني المغنطروني بالتيار المستمر:
في رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المستمر، يتم قصف المادة المستهدفة بأيونات نشطة من البلازما، مما يؤدي إلى طرد الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة. هذه الطريقة مباشرة وفعالة للمواد الموصلة حيث يضمن الجهد الثابت بلازما مستقرة ومعدل رش ثابت. ومع ذلك، يمكن أن يؤدي رش الاخرق بالتيار المستمر إلى تراكم الشحنات على سطح الهدف، خاصة عند رش المواد العازلة، مما قد يؤدي إلى تعطيل عملية الرش.الاخراخ المغنطروني بالترددات اللاسلكية:
يستخدم رش المغنطرون المغنطروني بالترددات اللاسلكية جهدًا متناوبًا، عادةً بترددات راديوية (13.56 ميجاهرتز)، مما يساعد على منع تراكم الشحنات على سطح الهدف. وهذا يجعل الاخرق بالترددات اللاسلكية مناسبًا بشكل خاص للمواد العازلة، حيث يعمل التيار المتناوب على تحييد أي تراكم للشحنات بشكل فعال. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أن يحافظ الاخرق بالترددات الراديوية على بلازما الغاز عند ضغط غرفة أقل بكثير (أقل من 15 ملي متر مكعب) مقارنةً بالخرق بالتيار المستمر (الذي يتطلب حوالي 100 ملي متر مكعب). ويقلل هذا الضغط المنخفض من عدد التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة، مما يؤدي إلى مسار أكثر مباشرةً للإفراز.
المزايا والعيوب:
يتميز الاخرق بالترددات اللاسلكية بالقدرة على الاخرق الفعال لكل من المواد المعدنية والعازلة دون خطر حدوث تقوس كهربائي، والذي يمكن أن يحدث في الاخرق بالتيار المستمر، خاصة عندما تكون هناك جزر أو أكاسيد على الهدف. ومع ذلك، فإن نظام توصيل الطاقة في الاخرق بالترددات اللاسلكية أكثر تعقيدًا وأقل كفاءة من نظام الاخرق بالتيار المستمر. وعادةً ما تكون مصادر طاقة الترددات اللاسلكية أقل كفاءة وتتطلب أنظمة تبريد أكثر تطوراً، مما يجعل تشغيلها أكثر تكلفة، خاصة عند مستويات الطاقة الأعلى.
التطبيقات:
