يعد تأثير درجة حرارة الركيزة على خواص الفيلم جانبًا حاسمًا في ترسيب الأغشية الرقيقة.
ما هو تأثير درجة حرارة الركيزة على خصائص الفيلم؟ (8 عوامل رئيسية)
1. الطور البلوري
يمكن أن تؤدي زيادة درجة حرارة الركيزة إلى تغييرات في الطور البلوري للفيلم الرقيق.
على سبيل المثال، يمكن أن تتسبب الزيادة في درجة الحرارة في حدوث تحول من طور غير متبلور إلى طور بلوري.
2. حجم البلورة
يمكن أن يؤدي ارتفاع درجة حرارة الركيزة إلى انخفاض حجم البلورات في الطبقة الرقيقة.
ويرجع ذلك إلى تعزيز انتشار ونمو الشبكة البلورية في درجات حرارة أعلى.
3. نسبة التكافؤ
تؤثر درجة حرارة الركيزة أيضًا على نسبة التكافؤ في الطبقة الرقيقة.
يمكن أن تؤدي زيادة درجة الحرارة إلى تركيبة أكثر توازناً للفيلم، مما يحسّن من جودته الإجمالية.
4. مورفولوجيا السطح
يمكن أن يتأثر شكل سطح الفيلم الرقيق بدرجة حرارة الركيزة.
يمكن لدرجات الحرارة المرتفعة أن تعزز التفاعلات السطحية وتؤدي إلى سطح غشاء أكثر سلاسة وتجانسًا.
5. قيمة فجوة النطاق
يمكن أن تؤثر الزيادة في درجة حرارة الركيزة أيضًا على قيمة فجوة النطاق للفيلم الرقيق.
ويُعزى ذلك إلى التغيرات في الطور البلوري، وحجم البلورة، ونسبة التكافؤ، التي تؤثر على الخواص الإلكترونية للفيلم.
6. كثافة العيب
يمكن أن تساعد زيادة درجة حرارة الركيزة في تعويض الروابط المعلقة على سطح الفيلم، مما يؤدي إلى انخفاض كثافة العيوب.
وهذا يحسّن الجودة الكلية للفيلم.7. الالتصاق والتبلور والإجهادتُعد درجة حرارة الركيزة معلمة مهمة تؤثر على التصاق وتبلور وإجهاد الطبقة الرقيقة المودعة.ومن خلال تحسين درجة الحرارة، يمكن تحقيق جودة الفيلم وخصائصه المطلوبة.8. معدل الترسيبيمكن أن يتأثر معدل ترسيب المادة المنبثقة على الركيزة، والمعروف باسم معدل الترسيب، بدرجة حرارة الركيزة.ويساعد تحسين معدل الترسيب على تحقيق سمك الفيلم المطلوب وتوحيده.
