يتضمن رش المجال المغناطيسي للمغنترون المغناطيسي للتيار المستمر استخدام مجال مغناطيسي لتعزيز كفاءة عملية الرش بالمغناطيسية.
ويتم ذلك عن طريق حبس الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف.
وهذا يزيد من تأين الغاز ومعدل ترسيب الطبقة الرقيقة.
5 نقاط أساسية لفهم عملية رش المجال المغناطيسي للمغناطيس المغناطيسي للتيار المستمر
1. آلية الاخرق
في رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المستمر، يتم استخدام مصدر طاقة تيار مباشر لإنشاء بلازما بالقرب من المادة المستهدفة.
وتتكون البلازما من أيونات غازية تتصادم مع الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات التي يتم قذفها بعد ذلك في المرحلة الغازية.
هذه العملية أساسية لترسيب الأغشية الرقيقة.
2. دور المجال المغناطيسي
إن إضافة مجال مغناطيسي في عملية الرش المغناطيسي أمر بالغ الأهمية.
يتم ترتيب هذا المجال خلف صفيحة المهبط ويتفاعل مع المجال الكهربائي لحرف حاملات الشحنة (الإلكترونات) إلى مدارات دائرية.
تزيد هذه الحركة من الوقت الذي تقضيه الإلكترونات بالقرب من الهدف، مما يعزز تأين الغاز.
وبسبب كتلتها الأكبر، تكون الأيونات أقل تأثراً بالمجال المغناطيسي وتؤثر بشكل أساسي على الهدف مباشرةً في الأسفل، مما يؤدي إلى تكوين خنادق تآكل نموذجية في الاخرق المغنطروني.
3. تعزيز معدل الاخرق
لا يزيد المجال المغناطيسي من كفاءة التأين فحسب، بل يزيد أيضاً من معدل الاخرق.
ويتم قياس ذلك من خلال معادلة تأخذ في الاعتبار عوامل مثل كثافة تدفق الأيونات، وعدد ذرات الهدف، والوزن الذري، والمسافة بين الهدف والركيزة، وسرعات الذرات المتطايرة.
وتسمح زيادة التأين بتشغيل العملية عند ضغوط وفولتية أقل مقارنةً بالتأين التقليدي.
4. حصر البلازما والإلكترونات الثانوية
تم تصميم تكوين المجال المغناطيسي في الرش المغنطروني لحصر البلازما والإلكترونات الثانوية بالقرب من الهدف.
ويمنع هذا الحصر الإلكترونات من الوصول إلى الركيزة واحتمال إتلاف الطبقة الرقيقة التي يتم ترسيبها.
يتم ترتيب خطوط المجال المغناطيسي بشكل استراتيجي لتحسين هذا الحصر، مع وجود اختلافات في التكوين تؤثر على كفاءة التأين ومعدل الترسيب.
5. أنواع الاخرق المغنطروني
هناك تكوينات مختلفة من الرش المغنطروني المغنطروني، بما في ذلك الرش المغنطروني المتوازن وغير المتوازن.
في التكوينات المتوازنة، تنحصر البلازما في المنطقة المستهدفة، بينما في التكوينات غير المتوازنة، يتم توجيه بعض خطوط المجال المغناطيسي نحو الركيزة، مما يؤثر على انتظام الترسيب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف التطور التالي في ترسيب الأغشية الرقيقة مع أنظمة الترسيب المغنطروني المغنطروني المتقدمة من KINTEK.اختبر كفاءة ودقة لا مثيل لها حيث تعمل تقنية المجال المغناطيسي الخاصة بنا على تحسين عملية الاخرق الخاصة بك، مما يعزز معدلات التأين والخرق دون المساومة على الجودة. أطلق العنان لإمكانات قدراتك البحثية والإنتاجية مع KINTEK - شريكك في الابتكار المتطور في علوم المواد.استكشف مجموعتنا من حلول الاخرق المغنطروني بالتيار المستمر اليوم وارتقِ بأداء مختبرك!
