يتراوح الضغط في تفريغ الاخرق عادةً من 0.5 ملي متر إلى 100 ملي متر.
وهذا النطاق ضروري للحفاظ على مستوى الطاقة المناسب للأيونات التي تقصف المادة المستهدفة.
وهذا أمر بالغ الأهمية للترسيب المنتظم للأغشية الرقيقة.
تتضمن عملية الاخرق تفريغ حجرة التفريغ إلى ضغط أساسي لإزالة الملوثات مثل H2O والهواء وH2 وH2 وAr.
بعد ذلك، يتم ملء الغرفة بغاز خامل عالي النقاء، وعادةً ما يكون الأرجون.
ويفضل الأرجون بسبب كتلته وقدرته على نقل الطاقة الحركية أثناء التصادمات الجزيئية في البلازما.
وهذا يولد أيونات الغاز التي تدفع عملية الاخرق.
ما هو الضغط في فراغ الاخرق؟ 5 عوامل رئيسية يجب مراعاتها
1. ترسيب الغشاء الرقيق المنتظم
يجب التحكم في ضغط غاز الاخرق بعناية لضمان حصول الأيونات على الطاقة الصحيحة لقصف المادة المستهدفة بشكل موحد.
هذا التوحيد ضروري لجودة وخصائص الطبقة الرقيقة التي يتم ترسيبها.
2. منع التلوث
يساعد الحفاظ على مستوى تفريغ محدد على منع تلوث الطبقة الرقيقة بالهواء أو الغازات الأخرى.
وهذا أمر بالغ الأهمية لسلامة وأداء الأغشية المودعة.
3. نقل الطاقة
يؤثر الضغط بشكل مباشر على طاقة وكثافة البلازما.
وهذا بدوره يؤثر على نقل الطاقة من البلازما إلى المادة المستهدفة.
ونقل الطاقة هذا هو ما يتسبب في طرد المادة المستهدفة وترسيبها على الركيزة.
4. المسافة بين الهدف والركيزة
هناك عوامل أخرى مثل المسافة بين الهدف والركيزة مهمة أيضًا لعملية الاخرق.
تعمل هذه المعلمات جنبًا إلى جنب مع ضغط الرش لتحسين عملية الترسيب.
5. الظروف الكهربائية
تعتبر الظروف الكهربائية، مثل التيار الكهربائي للتيار المستمر المطبق على الهدف والشحنة الموجبة المطبقة على الركيزة، بالغة الأهمية أيضًا.
وتعمل هذه المعلمات جنبًا إلى جنب مع ضغط الاخرق لضمان الحصول على أفضل النتائج.
ولزيادة تعزيز التحكم في بيئة المعالجة، يمكن تنفيذ تحسينات مثل استخدام الأختام المعدنية بدلاً من الأختام المرنة.
تمنع موانع التسرب المعدنية، مثل النحاس أو الألومنيوم، تغلغل الغازات التي يمكن أن تكون مصدرًا للتلوث في نظام التفريغ.
ويضمن هذا المستوى من التحكم في البيئة إمكانية إجراء عملية الاخرق بأقل قدر من التداخل من الغازات غير المرغوب فيها.
وهذا يحافظ على جودة واتساق الأغشية الرقيقة التي يتم إنتاجها.
وباختصار، يعد الضغط في تفريغ الاخرق معلمة حرجة يجب التحكم فيها بعناية ضمن نطاق محدد (0.5 ملي متر إلى 100 ملي متر).
وهذا يسهل النقل السليم للطاقة والترسيب المنتظم للأغشية الرقيقة.
كما أنه يمنع التلوث ويضمن الجودة الشاملة لعملية الترسيب.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف ذروة الدقة في تفريغ الاخرق باستخدام معدات KINTEK SOLUTION المتخصصة.
إن تقنيتنا المتطورة لا تضمن فقط التحكم الأمثل في الضغط ضمن النطاق الحاسم من 0.5 ملي متر إلى 100 ملي متر مكعب، بل تتضمن أيضًا موانع تسرب معدنية متقدمة للقضاء على التلوث وتعزيز تجانس العملية.
دع KINTEK SOLUTION تساعدك على تحقيق جودة وكفاءة ترسيب الأغشية الرقيقة التي لا مثيل لها.
اتصل بنا اليوم للحصول على حلول لا مثيل لها مصممة خصيصًا للارتقاء بعمليات البحث والتصنيع لديك.
