يتضمن طلاء الرذاذ ل SEM ترسيب طبقة رقيقة موصلة من المواد على العينة لتحسين توصيلها وتقليل تأثيرات الشحن الكهربائي وتعزيز انبعاث الإلكترونات الثانوية. ويتم تحقيق ذلك من خلال عملية تسمى الرش بالرش، حيث يؤدي التفريغ المتوهج بين الكاثود والأنود في بيئة غازية (عادةً الأرجون) إلى تآكل المادة المستهدفة للكاثود (عادةً الذهب أو البلاتين). ثم تترسب الذرات المنبثقة بشكل منتظم على سطح العينة، مما يهيئها للتحليل في مجهر إلكتروني ماسح.
عملية الاخرق:
تبدأ عملية الرش بالرش بتكوين تفريغ متوهج بين الكاثود (الذي يحتوي على المادة المستهدفة) والقطب الموجب في غرفة مملوءة بغاز الأرجون. يتأين غاز الأرجون، مما يؤدي إلى تكوين أيونات الأرجون موجبة الشحنة. يتم تسريع هذه الأيونات نحو المهبط بواسطة المجال الكهربي، وعند الاصطدام تتحرك الذرات من سطح المهبط من خلال انتقال الزخم. ويُعرف هذا التآكل لمادة المهبط باسم الاخرق.ترسيب الذرات المتناثرة:
تنتقل الذرات المنبثقة في جميع الاتجاهات وتترسب في النهاية على سطح العينة الموضوعة بالقرب من المهبط. وعادةً ما يكون هذا الترسيب منتظمًا، مكونًا طبقة رقيقة موصلة. يعد انتظام الطلاء أمرًا بالغ الأهمية لتحليل SEM، حيث يضمن تغطية سطح العينة بالتساوي، مما يقلل من خطر الشحن ويعزز انبعاث الإلكترونات الثانوية.
الفوائد بالنسبة إلى SEM:
تساعد الطبقة الموصلة التي يوفرها طلاء الرذاذ على تبديد تراكم الشحنة الناتجة عن شعاع الإلكترون في SEM، وهو أمر مهم بشكل خاص للعينات غير الموصلة. كما أنه يحسن إنتاجية الإلكترونات الثانوية، مما يؤدي إلى تحسين تباين الصورة ودقتها. بالإضافة إلى ذلك، يمكن للطلاء حماية العينة من التلف الحراري عن طريق توصيل الحرارة بعيدًا عن السطح.التحسينات التكنولوجية:
