الرش هو عملية فيزيائية تستخدم في الكيمياء وعلوم المواد لترسيب الأغشية الرقيقة على ركيزة. وهي تنطوي على طرد الذرات من مادة مستهدفة صلبة بسبب قصفها بأيونات نشطة، عادةً في بيئة مفرغة من الهواء. تنتقل هذه الذرات المقذوفة بعد ذلك وتلتصق بالركيزة مكونة طبقة رقيقة ذات خصائص محددة.
شرح مفصل:
-
بيئة الفراغ وتكوين البلازما:
-
يحدث الاخرق في غرفة مفرغة من الهواء حيث يتم إدخال غاز خاضع للتحكم، عادةً ما يكون الأرجون. يتأين الغاز بواسطة تفريغ كهربائي، مما يؤدي إلى تكوين بلازما. في هذه البلازما، تفقد ذرات الأرجون الإلكترونات وتصبح أيونات موجبة الشحنة.القصف الأيوني للهدف:
-
يتم تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة نحو المهبط (الهدف) بواسطة مجال كهربائي. ويتكون الهدف من المادة المراد ترسيبها على الركيزة. عندما تصطدم هذه الأيونات النشطة بالهدف، فإنها تنقل طاقتها الحركية إلى ذرات الهدف، مما يؤدي إلى طرد بعضها من سطح الهدف.
-
طرد وترسيب ذرات الهدف:
-
تشكل الذرات المقذوفة، والمعروفة باسم الذرات العدائية، تيار بخار ينتقل عبر غرفة التفريغ. ثم تضرب هذه الذرات الركيزة وتلتصق بسطحها وتشكل طبقة رقيقة. وتتسم هذه العملية بالدقة، مما يسمح بإنشاء أغشية ذات خصائص محددة مثل الانعكاسية أو التوصيل الكهربائي أو المقاومة.خصائص الفيلم المترسب:
ينتج عن عملية الترسيب فيلم متجانس ورقيق للغاية وله رابطة قوية مع الركيزة. ويرجع ذلك إلى أن الترسيب يحدث على المستوى الذري، مما يضمن وجود رابطة غير قابلة للكسر تقريبًا بين الفيلم والركيزة.
