تُستخدم طاقة التردد اللاسلكي في عملية الاخرق في المقام الأول لتسهيل ترسيب المواد العازلة وإدارة تراكم الشحنات على المادة المستهدفة. وفيما يلي شرح مفصل:
1. ترسيب المواد العازلة:
يعتبر الرش بالترددات اللاسلكية فعالاً بشكل خاص في ترسيب الأغشية الرقيقة للمواد العازلة. على عكس رشّ التيار المستمر، الذي يعتمد على القصف المباشر للإلكترونات، يستخدم رشّ الترددات اللاسلكية طاقة التردد اللاسلكي لتأيين الغاز في الغرفة. وتُعد عملية التأين هذه حاسمة لأن المواد العازلة لا توصل الكهرباء بشكل جيد، مما يجعلها غير مناسبة لرش التيار المستمر حيث يلزم تدفق مستمر للإلكترونات. تخلق طاقة الترددات اللاسلكية، التي عادةً ما تكون بتردد 13.56 ميجاهرتز، بلازما يمكنها أن تخرق بفعالية حتى المواد المستهدفة غير الموصلة للكهرباء.2. إدارة تراكم الشحنات:
أحد التحديات الكبيرة في عملية الاخرق هو تراكم الشحنات على المادة المستهدفة، مما قد يؤدي إلى حدوث تقوس ومشاكل أخرى تتعلق بمراقبة الجودة. يعالج الرش بالترددات اللاسلكية هذا الأمر من خلال تبديل الجهد الكهربائي للتيار. خلال نصف الدورة الموجبة لموجة التردد اللاسلكي الموجبة، تنجذب الإلكترونات إلى الهدف، مما يمنحه انحيازًا سالبًا ويعادل أي شحنة موجبة. وخلال نصف الدورة السالبة، يستمر القصف الأيوني، مما يضمن استمرار الاخرق. تعمل هذه العملية المتناوبة على "تنظيف" سطح الهدف من تراكم الشحنات بشكل فعال، مما يمنع الانحناء ويضمن عملية رش مستقرة.
3. الكفاءة وتعدد الاستخدامات:
يمكن أن يعمل الاخرق بالترددات اللاسلكية عند ضغوط منخفضة (من 1 إلى 15 ملي طن من التور) مع الحفاظ على البلازما، مما يعزز كفاءته. هذه التقنية متعددة الاستخدامات ويمكن استخدامها لرش مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك العوازل والمعادن والسبائك والمواد المركبة. يقلل استخدام طاقة التردد اللاسلكي أيضًا من خطر تأثيرات الشحنات والانحناء، وهي مشكلات شائعة في تقنية الاصطرار بالتيار المستمر، خاصة عند التعامل مع الأهداف العازلة.
