يعد الاخرق أكثر فائدة في ترسيب السبائك نظرًا لقدرته على الحفاظ على تركيبة الفيلم المودع مماثلة للمادة الخام، وتغطية الخطوة الممتازة وقدرته على ترسيب أفلام موحدة ذات التصاق قوي.
الحفاظ على تركيبة مشابهة للمواد الخام:
يضمن الاخرق أن يتطابق تركيز الفيلم المترسب بشكل وثيق مع تركيز المادة الخام. وهذا الأمر مهم بشكل خاص لترسيب السبائك، حيث يضمن الحفاظ على خصائص السبيكة في الفيلم الرقيق. وعلى عكس الطرق الأخرى التي يمكن أن يعتمد فيها مردود الترسيب على الوزن الذري للأنواع، مما يؤدي إلى ترسيب مكونات السبيكة بمعدلات مختلفة وربما تغيير تركيز الفيلم المترسب، فإن عملية الرش بالرش يعوض هذه الاختلافات. هذه العملية، كونها ظاهرة سطحية، تُثري السطح بذرات المكونات المتبقية، مما يوازن بشكل فعال بين الاختلافات في معدلات الاخرق. وينتج عن ذلك فيلم له تركيز مماثل لهدف السبيكة الأصلي.تغطية خطوة ممتازة:
يوفر الاخرق تغطية خطوة ممتازة، وهو أمر بالغ الأهمية لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز ذات تضاريس معقدة. ويؤدي ضغط العملية المرتفع في عملية الرش إلى متوسط مسار حر قصير للجزيئات، مما يتسبب في تشتت الذرات المرشوشة في الهواء في منتصفها. ويؤدي هذا التشتت إلى زيادة تباين الخواص في العملية، مما يسمح للذرات بالترسيب بشكل أكثر اتساقًا على الركيزة، بما في ذلك على الدرجات وغيرها من المخالفات. وهذا مفيد بشكل خاص لترسيب السبيكة، حيث يضمن ترسيب طبقة السبيكة بشكل موحد على الركيزة، مما يحافظ على سلامة تركيب السبيكة وخصائصها.
أفلام موحدة ذات التصاق قوي:
