فريق التقنية · Kintek Solution

يتم توليد بلازما الموجات الصغرية من خلال تفاعل الموجات الصغرية مع غاز في غرفة مفرغة.

وتنطوي العملية على استخدام مولد موجات ميكروويف، عادةً ما يكون مولد مغنطرون أو كليسترون، ينتج موجات ميكروويف بتردد 2.45 جيجاهرتز.

يتم توجيه هذه الموجات الميكروية إلى داخل الغرفة من خلال نافذة كوارتز، حيث تتفاعل مع الغاز الذي يتم إدخاله عبر نظام توصيل غاز يتم التحكم فيه.

شرح 4 خطوات رئيسية

1. مولد الموجات الدقيقة والتفاعل

ينتج مولد الموجات الدقيقة، الذي يعمل بتردد 2.45 جيجاهرتز، موجات كهرومغناطيسية عالية التردد.

عندما تدخل هذه الموجات الدقيقة إلى غرفة التفريغ من خلال نافذة كوارتز، فإنها تتفاعل مع جزيئات الغاز الموجودة في الغرفة.

وهذا التفاعل حاسم لبدء تكوين البلازما.

2. إدخال الغاز وتكوين البلازما

يتم إدخال الغاز، وهو عادةً خليط من الهيدروجين والميثان لتخليق الماس، في غرفة التفريغ من خلال نظام من أجهزة التحكم في التدفق الكتلي (MFCs).

تضمن أجهزة التحكم في التدفق الكتلي المتعدد التحكم الدقيق في معدل تدفق الغاز، الذي يقاس بالسنتيمتر المكعب القياسي في الدقيقة (sccm).

وعندما تتفاعل الموجات الدقيقة مع الغاز، فإنها تعمل على تنشيط الإلكترونات في جزيئات الغاز، مما يجعلها تتأرجح بسرعات عالية.

ويؤدي هذا التذبذب السريع إلى حدوث تصادمات بين الإلكترونات وجزيئات الغاز الأخرى، مما يؤدي بدوره إلى تأيين الغاز، مما يؤدي إلى تكوين بلازما.

3. دور البلازما في التفاعلات الكيميائية

تكون البلازما المتولدة تفاعلية للغاية بسبب وجود الإلكترونات النشطة وأنواع الغاز المتأين.

وتعزز هذه الأنواع التفاعلية التفاعلات الكيميائية على سطح الركيزة، مما يعزز عملية الترسيب.

ويمكن أن تكون درجة حرارة الإلكترونات في البلازما أعلى بكثير من درجة حرارة الغاز المحيط، مما يوفر الطاقة اللازمة لتفكك جزيئات الغاز وتأينها.

وتعد هذه البيئة مفيدة بشكل خاص لعمليات مثل تخليق الماس، حيث يكون التفاعل العالي والتحكم الدقيق في ظروف التفاعل ضروريين.

4. تعزيز كفاءة الترسيب

لا تسهّل البلازما تأين جزيئات الغاز وتفككها فحسب، بل تعزز أيضاً كفاءة الترسيب.

وتؤدي الطاقة العالية للبلازما إلى كثافة أعلى من الأنواع التفاعلية، مما يزيد من معدل وجودة عملية الترسيب.

بالإضافة إلى ذلك، يمكن لفوتونات الأشعة فوق البنفسجية عالية الطاقة المنتجة في البلازما أن تزيد من تفاعلية سطح الركيزة، مما يساعد في تكوين المواد المرغوبة مثل الماس.

باختصار، يتم توليد بلازما الموجات الدقيقة عن طريق إثارة جزيئات الغاز من خلال تفاعل الموجات الدقيقة مع الغاز في بيئة محكومة.

وتؤدي هذه العملية إلى تكوين بلازما تفاعلية عالية التفاعل ذات أهمية بالغة في مختلف التطبيقات، بما في ذلك تركيب مواد عالية الجودة مثل الماس.

مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا

اكتشف قوة الدقة والابتكار مع أحدث مولدات بلازما الموجات الدقيقة من KINTEK SOLUTION!

اختبر اندماج الموجات الدقيقة المتقدمة بتردد 2.45 جيجا هرتز والغاز في الفراغ، مما يتيح إنشاء بلازما عالية التفاعل مثالية لتخليق الماس وما بعده.

ارتقِ بقدرات مختبرك من خلال منتجاتنا التي لا مثيل لها ودعم الخبراء.

اتخذ الخطوة الأولى نحو نتائج بحثية متفوقة وانضم إلى عائلة KINTEK SOLUTION اليوم!