الرش بالترددات الراديوية هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم طاقة الترددات الراديوية (RF) لإنشاء بلازما في بيئة مفرغة من الهواء. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص في ترسيب الأغشية الرقيقة على المواد المستهدفة العازلة أو غير الموصلة.
ملخص كيفية عمل رش الترددات اللاسلكية:
يعمل الرش بالترددات اللاسلكية عن طريق إدخال غاز خامل في غرفة تفريغ تحتوي على المادة المستهدفة والركيزة. ثم يقوم مصدر طاقة التردد اللاسلكي بتأيين الغاز، مما يؤدي إلى تكوين بلازما. يتم تسريع الأيونات الموجبة الشحنة في البلازما نحو المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات من الهدف وترسيبها على شكل طبقة رقيقة على الركيزة.
-
الشرح التفصيلي:الإعداد والتهيئة:
-
تبدأ العملية بوضع المادة المستهدفة والركيزة في غرفة تفريغ الهواء. والمادة المستهدفة هي المادة التي سيُشتق منها الفيلم الرقيق، والركيزة هي السطح الذي سيتم ترسيب الفيلم عليه.
-
إدخال الغاز الخامل:
-
يتم إدخال غاز خامل، مثل الأرجون، في الغرفة. يعد اختيار الغاز أمرًا بالغ الأهمية حيث يجب ألا يتفاعل كيميائيًا مع المادة المستهدفة أو الركيزة.تأيين الغاز:
-
يتم تطبيق مصدر طاقة التردد اللاسلكي على الغرفة، وعادةً ما يكون بتردد 13.56 ميجاهرتز. يعمل هذا المجال الكهربائي عالي التردد على تأيين ذرات الغاز، مما يؤدي إلى تجريدها من الإلكترونات وتكوين بلازما تتكون من أيونات موجبة وإلكترونات حرة.
-
تكوين البلازما والرش:
تنجذب الأيونات الموجبة في البلازما إلى الهدف سالب الشحنة بسبب الجهد الكهربائي الناتج عن طاقة التردد اللاسلكي. وعندما تتصادم هذه الأيونات مع المادة المستهدفة، فإنها تتسبب في طرد الذرات أو الجزيئات من سطح الهدف.ترسيب الغشاء الرقيق:
