جهاز طلاء الرذاذ هو جهاز يستخدم لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركيزة في بيئة مفرغة من الهواء. وتتضمن العملية استخدام تفريغ متوهج لتآكل المادة المستهدفة، وهي عادةً الذهب، وترسيبها على سطح العينة. وتفيد هذه الطريقة في تحسين أداء الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي عن طريق تثبيط الشحن وتقليل التلف الحراري وتعزيز انبعاث الإلكترونات الثانوية.
ملخص الإجابة:
يعمل جهاز طلاء الرذاذ عن طريق إنشاء تفريغ متوهج بين الكاثود والأنود في غرفة مفرغة مملوءة بغاز مثل الأرجون. يتكون المهبط، أو الهدف، من المادة المراد ترسيبها، مثل الذهب. تقصف أيونات الغاز الهدف، مما يؤدي إلى قذف الذرات وترسيبها على الركيزة في طبقة متساوية. وتشكل هذه العملية طبقة قوية ورقيقة وموحدة مثالية لتطبيقات مختلفة، بما في ذلك تعزيز قدرات الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي.
-
شرح تفصيلي:تشكيل التفريغ المتوهج:
-
تبدأ عملية الطلاء بالرشاش عن طريق تشكيل التفريغ المتوهج في غرفة التفريغ. ويتم تحقيق ذلك عن طريق إدخال غاز، عادةً ما يكون الأرجون، وتطبيق جهد بين الكاثود (الهدف) والقطب الموجب. تصبح أيونات الغاز نشطة وتشكل بلازما.تآكل الهدف:
-
تقصف أيونات الغاز النشطة المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تآكلها. هذا التآكل، المعروف باسم الاخرق، يقذف الذرات من المادة المستهدفة.الترسيب على الركيزة:
-
تنتقل الذرات المقذوفة من المادة المستهدفة في جميع الاتجاهات وتترسب على سطح الركيزة. ويشكل هذا الترسيب طبقة رقيقة متجانسة وتلتصق بقوة بالركيزة بسبب البيئة عالية الطاقة لعملية الاخرق.فوائد الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي:
-
تُعد الركيزة المغطاة بالرشاقة مفيدة في الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي لأنها تمنع العينة من الشحن، وتقلل من التلف الحراري، وتحسن من انبعاث الإلكترونات الثانوية، مما يعزز قدرات التصوير بالمجهر.التطبيقات والمزايا:
عملية الاخرق متعددة الاستخدامات ويمكن استخدامها لترسيب مجموعة متنوعة من المواد، مما يجعلها مناسبة لإنشاء منتجات متينة وخفيفة الوزن وصغيرة الحجم في مختلف الصناعات. وتشمل المزايا القدرة على طلاء المواد عالية الانصهار، وإعادة استخدام المواد المستهدفة، وعدم وجود تلوث في الغلاف الجوي. ومع ذلك، يمكن أن تكون العملية معقدة ومكلفة وقد تؤدي إلى وجود شوائب على الركيزة.المراجعة والتصحيح:
