يُستخدم شعاع الإلكترونات في التبخير بالحزمة الإلكترونية (E-beam) لتسخين عينة وتبخيرها في بيئة مفرغة من الهواء.
شرح 4 خطوات رئيسية
1. توليد وتوجيه حزمة الإلكترونات
يتم توليد حزمة الإلكترونات من فتيل.
يتم تسريعها إلى طاقة حركية عالية (تصل إلى 10 كيلو فولت) من خلال مجال كهربائي عالي الجهد.
تُستخدم المجالات الكهربائية والمغناطيسية لتوجيه الحزمة بدقة إلى مادة المصدر.
وعادة ما تكون المادة المصدر على شكل كريات أو كتلة موضوعة في بوتقة.
2. نقل الطاقة والتبخير
عندما تصطدم حزمة الإلكترونات بمادة المصدر، تتحول طاقتها الحركية إلى حرارة.
وهذا يرفع درجة حرارة المادة.
ومع ارتفاع درجة حرارة المادة، تكتسب ذرات سطحها طاقة كافية للتغلب على قوى الربط التي تبقيها في المادة السائبة.
ويؤدي ذلك إلى خروجها من السطح في صورة بخار.3. التبخر والترسيبتجتاز الذرات أو الجزيئات المتبخرة غرفة التفريغ بطاقة حرارية (أقل من 1 فولت).وهي لا تتأثر بالجسيمات الأخرى، مما يضمن ترسيب "خط الرؤية" على ركيزة موضوعة على مسافة عمل تتراوح بين 300 مم إلى متر واحد.
