عندما يتعلق الأمر بالرش، هناك طريقتان رئيسيتان: الرش بالترددات الراديوية (الترددات الراديوية) والرش بالتيار المباشر (التيار المباشر).
ويكمن الفرق الأساسي بين هاتين الطريقتين في مصدر الطاقة وكيفية تأيين الغاز وترشيش المادة المستهدفة.
1. مصدر الطاقة ومتطلبات الضغط
الاخرق بالتيار المستمر
يستخدم الاخراخ بالتيار المستمر مصدر طاقة تيار مستمر.
ويتطلب مصدر الطاقة هذا عادةً من 2,000 إلى 5,000 فولت.
ويعمل عند ضغط غرفة أعلى، حوالي 100 mTorr.
يمكن أن يؤدي ذلك إلى مزيد من التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة.
رش الترددات اللاسلكية
يستخدم رش الترددات اللاسلكية مصدر طاقة تيار متردد.
يبلغ تردد مصدر الطاقة هذا 13.56 ميجاهرتز ويتطلب 1,012 فولت أو أعلى.
يمكن أن يحافظ على بلازما الغاز عند ضغط أقل بكثير، أقل من 15 ملي متر مكعب.
وهذا يقلل من عدد الاصطدامات ويوفر مسارًا مباشرًا أكثر للتبخير.
2. ملاءمة المواد المستهدفة
الاخرق بالتيار المستمر
يعتبر رش التيار المستمر مثالي للمواد الموصلة.
فهو يؤين بلازما الغاز مباشرة باستخدام القصف الإلكتروني.
ومع ذلك، يمكن أن يسبب تراكم الشحنات على الأهداف غير الموصلة.
وهذا التراكم في الشحنة يصد المزيد من القصف الأيوني ويمكن أن يوقف عملية الاخرق.
الاخرق بالترددات اللاسلكية
يعتبر الرش بالترددات اللاسلكية فعالاً لكل من المواد الموصلة وغير الموصلة.
يمنع التيار المتناوب تراكم الشحنات على الهدف.
ويعادل الأيونات الموجبة المتجمعة على سطح الهدف خلال نصف الدورة الموجبة.
يقوم بتبخير ذرات الهدف خلال نصف الدورة السالبة.
3. آلية الاخرق
الاخرق بالتيار المستمر
يتضمن رش التيار المستمر قصف أيونات مباشرة للهدف بواسطة إلكترونات نشطة.
ويمكن أن يؤدي ذلك إلى حدوث تقوس وتوقف عملية الاخرق إذا كان الهدف غير موصل.
الاخرق بالترددات اللاسلكية
يستخدم رش الترددات اللاسلكية طاقة حركية لإزالة الإلكترونات من ذرات الغاز.
وهذا يخلق بلازما يمكنها رش كل من الأهداف الموصلة وغير الموصلة بفعالية دون خطر تراكم الشحنات.
4. التردد والتفريغ
الاخرق بالترددات اللاسلكية
يتطلب الاخرق بالترددات اللاسلكية ترددًا يبلغ 1 ميجا هرتز أو أعلى.
وهذا أمر بالغ الأهمية للحفاظ على عملية الاخرق على المواد غير الموصلة.
الاخرق بالتيار المستمر
لا يتطلب الاخرق بالتيار المستمر ترددات عالية للتفريغ.
وهذا يجعله أبسط من حيث متطلبات إمداد الطاقة ولكنه أقل تنوعًا بالنسبة للمواد المستهدفة المختلفة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وتعدد استخدامات أنظمة الاخرق من KINTEK SOLUTION! سواءً كنت تتعامل مع مواد موصلة أو غير موصلة، تضمن تقنياتنا المتقدمة للترددات اللاسلكية والترددات الراديوية المتقدمة نقل المواد على النحو الأمثل وتقليل تراكم الشحنات. ومن خلال التركيز على الكفاءة وسهولة الاستخدام، صُممت منتجاتنا للارتقاء بقدراتك البحثية والإنتاجية.استكشف حلولنا المتطورة وارتقِ بعمليات الاخرق إلى المستوى التالي اليوم!
