الترسيب الفيزيائي للبخار الفيزيائي (PVD) عن طريق التبخير والرش بالتبخير هما طريقتان شائعتان لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. ينطوي التبخير على تسخين مادة الطلاء إلى درجة الغليان في الفراغ، مما يؤدي إلى تبخيرها ثم تكثيفها على الركيزة. ومن ناحية أخرى، يستخدم التبخير الرذاذ جسيمات عالية الطاقة لقصف المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى قذف الذرات أو الجزيئات وترسيبها على الركيزة.
التبخير:
في عملية التبخير، يتم تسخين المادة المراد طلاؤها إلى درجة حرارة عالية، عادةً في غرفة تفريغ، حتى تصل إلى درجة الغليان وتتحول إلى بخار. ثم ينتقل هذا البخار عبر التفريغ ويتكثف على السطح الأكثر برودة للركيزة مكونًا طبقة رقيقة. ويمكن تحقيق التسخين من خلال طرق مختلفة، مثل التسخين بالمقاومة أو التسخين بالحزمة الإلكترونية. وتتمثل ميزة التبخير في بساطته وقدرته على ترسيب مواد ذات نقاء عالٍ. ومع ذلك، قد لا يكون مناسبًا لترسيب الأغشية متعددة المكونات أو الأغشية ذات نقاط انصهار عالية.التبخير:
يتضمن الاخرق استخدام تفريغ البلازما لقذف الذرات من مادة مستهدفة. يتم قصف الهدف، وهو المادة المراد ترسيبها، بأيونات عالية الطاقة (عادةً أيونات الأرجون) في بيئة منخفضة الضغط. ويتسبب تأثير هذه الأيونات في طرد الذرات من الهدف وترسيبها بعد ذلك على الركيزة. ويمكن إجراء الاخرق باستخدام تقنيات مختلفة، مثل الاخرق الثنائي الصمام الثنائي والخرق المغنطروني والخرق بالحزمة الأيونية. وتتمثل ميزة الاخرق في تعدد استخداماته في ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك السبائك والمركبات، والقدرة على التحكم في خصائص الفيلم عن طريق ضبط معلمات العملية. ومع ذلك، فإن أنظمة الاخرق أكثر تعقيدًا بشكل عام وتتطلب استثمارًا أوليًا أعلى مقارنة بأنظمة التبخير.
