إن الرش المغنطروني التفاعلي هو شكل متخصص من أشكال الرش المغنطروني حيث يتم إدخال غاز تفاعلي في غرفة التفريغ للخضوع لتفاعل كيميائي مع المادة المرشوشة لتشكيل طبقة مركبة على الركيزة. تجمع هذه العملية بين الرش الفيزيائي للمواد مع تفاعل ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، مما يعزز من تعدد استخدامات ووظائف الأفلام المودعة.
شرح مفصل:
-
أساسيات رش المغنطرون المغنطروني:
-
رش المغنطرون المغنطروني هو تقنية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) حيث يتم قصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة من البلازما، مما يؤدي إلى طرد الذرات من الهدف وترسيبها على الركيزة. تحدث هذه العملية في غرفة مفرغة حيث يتم توليد البلازما وحصرها بالقرب من الهدف. ويجذب الهدف، وهو سالب الشحنة، أيونات موجبة الشحنة من البلازما. تضرب هذه الأيونات الهدف بطاقة عالية، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات التي تنتقل بعد ذلك عبر الغرفة وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.الاخرق التفاعلي:
-
في الاخراخ المغنطروني التفاعلي، يتم إدخال غاز تفاعلي مثل النيتروجين أو الأكسجين في غرفة التفريغ. ويصبح هذا الغاز متأيناً ومتفاعلاً في بيئة البلازما بسبب التصادمات عالية الطاقة. وعندما تصل الذرات المنبثقة من الهدف المعدني إلى الركيزة، تتفاعل مع الغاز التفاعلي مكونة طبقة مركبة (مثل النيتريدات أو الأكاسيد). وتعد هذه العملية ضرورية لترسيب الطلاءات الوظيفية التي لا يمكن تحقيقها عن طريق الرش بالمعدن البسيط وحده.
-
المزايا والتطبيقات:
-
يوفر الاخرق المغنطروني التفاعلي العديد من المزايا، بما في ذلك القدرة على ترسيب أغشية عالية النقاء وعالية الالتصاق من مركبات مختلفة. وهي مفيدة بشكل خاص لترسيب الطلاءات الصلبة المقاومة للتآكل وللتطبيقات التي تتطلب خصائص كهربائية أو بصرية محددة. وهذه العملية قابلة للتكيف بدرجة كبيرة، مما يسمح بطلاء مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك الركائز الحساسة للحرارة، ويمكن أتمتتها بسهولة.الاختلافات والتحسينات:
يمكن زيادة تحسين العملية من خلال تقنيات مثل الرش المغنطروني غير المتوازن الذي يزيد من كثافة التيار الأيوني إلى الركيزة، مما يحسن معدل الترسيب وخصائص الفيلم. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أن يؤدي استخدام أشكال أهداف مختلفة (دائرية ومستطيلة وأسطوانية) إلى تحسين عملية الطلاء لمختلف التطبيقات وأحجام الركيزة.
