ترسيب الرذاذ هو طريقة مستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات لترسيب الأغشية الرقيقة على ركيزة مثل رقاقة السيليكون.
وهي نوع من تقنيات ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) التي تتضمن إخراج المواد من مصدر مستهدف وترسيبها على الركيزة.
10 نقاط أساسية يجب معرفتها عن ترسيب الرذاذ
1. نظام المغنطرون
في ترسيب الرذاذ، عادةً ما يتم استخدام نظام بلازما الصمام الثنائي المعروف باسم المغنطرون.
يتكون النظام من كاثود، وهو المادة المستهدفة، وأنود، وهو الركيزة.
2. القصف الأيوني
يتم قصف الكاثود بالأيونات، مما يؤدي إلى طرد الذرات أو تناثرها من الهدف.
3. منطقة الضغط المنخفض
تنتقل هذه الذرات المنبثقة بعد ذلك عبر منطقة ذات ضغط منخفض وتتكثف على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
4. سماكة موحدة
تتمثل إحدى مزايا ترسيب الرذاذ في أنه يسمح بترسيب أغشية رقيقة بسماكة موحدة على رقائق كبيرة.
وهذا لأنه يمكن تحقيق ذلك من أهداف كبيرة الحجم.
5. التحكم في السماكة
يمكن التحكم في سماكة الفيلم بسهولة عن طريق ضبط وقت الترسيب وتحديد معلمات التشغيل.
6. التحكم في تركيب السبيكة
يوفّر الترسيب بالترسيب الرذاذي أيضًا تحكّمًا في تركيبة السبيكة والتغطية المتدرجة وبنية حبيبات الفيلم الرقيق.
7. تنظيف الرذاذ
يسمح هذا النظام بتنظيف الركيزة بالرذاذ في الفراغ قبل الترسيب، مما يساعد في الحصول على أفلام عالية الجودة.
8. تجنّب تلف الجهاز
بالإضافة إلى ذلك، يتفادى الاخرق تلف الجهاز من الأشعة السينية الناتجة عن تبخير شعاع الإلكترون.
9. خطوات العملية
تتضمن عملية الاخرق عدة خطوات. أولاً، يتم توليد الأيونات وتوجيهها إلى المادة المستهدفة. تقوم هذه الأيونات بتبخير الذرات من الهدف.
ثم تنتقل الذرات المنبثقة إلى الركيزة من خلال منطقة ذات ضغط منخفض.
وأخيرًا، تتكثف الذرات المنبثقة على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
10. تعدد الاستخدامات والموثوقية
ترسيب الرذاذ هو تقنية مستخدمة على نطاق واسع ومثبتة في تصنيع أشباه الموصلات.
ويمكنها ترسيب أغشية رقيقة من مجموعة متنوعة من المواد على أشكال وأحجام مختلفة من الركيزة.
العملية قابلة للتكرار ويمكن توسيع نطاقها لدفعات الإنتاج التي تتضمن مساحات ركيزة متوسطة إلى كبيرة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن أهداف رش عالية الجودة لاحتياجات تصنيع أشباه الموصلات الخاصة بك؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
بصفتنا موردًا رائدًا لمعدات المختبرات، نقدم مجموعة واسعة من أهداف الاخرق التي تضمن سمكًا موحدًا وتحكمًا دقيقًا وخصائص غشاء مثالية.
سواء كنت بحاجة إلى أهداف لرقائق السيليكون أو غيرها من أشكال وأحجام الركائز الأخرى، فإن تقنيتنا القابلة للتطوير تضمن نتائج قابلة للتكرار في كل مرة.
ثق في KINTEK لجميع متطلبات ترسيب الرقائق الرقيقة في عملية التصنيع الخاصة بك.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
