الترسيب بالرش هو طريقة تستخدم في تصنيع أشباه الموصلات لترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة، مثل رقاقة السيليكون. إنه نوع من تقنية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) الذي يتضمن إخراج المواد من مصدر مستهدف وترسيبها على الركيزة.
في الترسيب بالرش، يتم عادةً استخدام نظام بلازما الصمام الثنائي المعروف باسم المغنطرون. يتكون النظام من الكاثود، وهو المادة المستهدفة، والأنود، وهو الركيزة. يتم قصف الكاثود بالأيونات، مما يتسبب في قذف الذرات أو تناثرها من الهدف. تنتقل هذه الذرات المتناثرة بعد ذلك عبر منطقة ذات ضغط منخفض وتتكثف على الركيزة لتشكل طبقة رقيقة.
إحدى مزايا الترسيب بالرش هو أنه يسمح بترسيب أغشية رقيقة ذات سماكة موحدة على الرقاقات الكبيرة. وذلك لأنه يمكن تحقيقه من أهداف كبيرة الحجم. يمكن التحكم في سمك الفيلم بسهولة عن طريق ضبط وقت الترسيب وتحديد معلمات التشغيل.
يوفر الترسيب بالرش أيضًا التحكم في تركيبة السبائك وتغطية الخطوة وبنية الحبوب للفيلم الرقيق. فهو يسمح بتنظيف الركيزة في الفراغ قبل الترسيب، مما يساعد في تحقيق أفلام عالية الجودة. بالإضافة إلى ذلك، الاخرق يتجنب تلف الجهاز من الأشعة السينية الناتجة عن تبخر شعاع الإلكترون.
تتضمن عملية الاخرق عدة خطوات. أولا، يتم إنشاء الأيونات وتوجيهها إلى المادة المستهدفة. هذه الأيونات تتناثر الذرات من الهدف. تنتقل الذرات المتناثرة بعد ذلك إلى الركيزة عبر منطقة ذات ضغط منخفض. وأخيرًا، تتكثف الذرات المتناثرة على الركيزة، لتشكل طبقة رقيقة.
الترسيب بالرش هو تقنية مستخدمة على نطاق واسع ومثبتة في تصنيع أشباه الموصلات. يمكنها إيداع أغشية رقيقة من مجموعة متنوعة من المواد على أشكال وأحجام مختلفة من الركيزة. هذه العملية قابلة للتكرار ويمكن توسيع نطاقها لدفعات الإنتاج التي تشمل مناطق ركيزة متوسطة إلى كبيرة.
لتحقيق الخصائص المطلوبة في الأغشية الرقيقة المودعة بالرش، فإن عملية التصنيع المستخدمة لتصنيع هدف الرش أمر ضروري. يمكن أن تكون المادة المستهدفة عنصرًا واحدًا، أو خليطًا من العناصر، أو السبائك، أو المركبات. تعد عملية إنتاج المادة المستهدفة في شكل مناسب لرش الأغشية الرقيقة ذات الجودة الثابتة أمرًا بالغ الأهمية.
بشكل عام، يعد الترسيب بالرش طريقة متعددة الاستخدامات وموثوقة لترسيب الأغشية الرقيقة في صناعة أشباه الموصلات. إنه يوفر تجانسًا وكثافة والتصاقًا ممتازًا، مما يجعله مناسبًا لمختلف التطبيقات في الصناعة.
هل تبحث عن أهداف رش عالية الجودة لاحتياجات تصنيع أشباه الموصلات لديك؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! باعتبارنا موردًا رائدًا لمعدات المختبرات، فإننا نقدم مجموعة واسعة من أهداف الرش التي تضمن سمكًا موحدًا وتحكمًا دقيقًا وخصائص الفيلم المثالية. سواء كنت بحاجة إلى أهداف لرقائق السيليكون أو غيرها من أشكال وأحجام الركيزة، فإن تقنيتنا القابلة للتطوير تضمن نتائج قابلة للتكرار في كل مرة. ثق بـ KINTEK لجميع متطلبات ترسيب الرش الخاصة بك وتحقيق أغشية رقيقة فائقة الجودة في عملية التصنيع الخاصة بك. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
