يتأثر معدل ترسيب الاخرق بعدة عوامل بما في ذلك معلمات الاخرق ومعدل الاخرق والخصائص الفيزيائية للمادة المستهدفة. من الصعب حساب ذلك بدقة بسبب المتغيرات العديدة التي ينطوي عليها الأمر، وغالبًا ما يكون من العملي أكثر قياس سُمك الطلاء المترسب الفعلي باستخدام جهاز مراقبة السُمك.
معلمات الاصطرار ومعدل الترسيب:
يتأثر معدل الترسيب في عملية الاخرق بمعلمات مختلفة مثل تيار الاخرق وجهد الاخرق والضغط في غرفة العينة والمسافة من الهدف إلى العينة وغاز الاخرق وسُمك الهدف والمواد المستهدفة ومواد العينة (المواد). يمكن أن يؤثر كل متغير من هذه المتغيرات على كمية المواد المترسبة بفعالية على سطح العينة. على سبيل المثال، يمكن أن تؤدي زيادة تيار أو جهد الاصطرار إلى تعزيز معدل قذف المواد من الهدف، مما قد يزيد من معدل الترسيب. ومع ذلك، يجب موازنة هذه التغييرات مع الحاجة إلى الحفاظ على استقرار البلازما ومنع تلف الهدف أو العينة.معدل الاخرق ومعدل الترسيب:
يعد معدل الاخرق، وهو عدد الطبقات الأحادية في الثانية التي يتم رشها من سطح الهدف، عاملاً رئيسياً في تحديد معدل الترسيب. ويتم حسابه باستخدام المعادلة:
[ \\نص{معدل التناثر} = \frac{MSj}{pN_Ae}]حيث (M) هو الوزن المولي للهدف، و(p) هو كثافة المادة، و(j) هو كثافة التيار الأيوني، و(N_A) هو عدد أفوجادرو، و(e) هو شحنة الإلكترون. توضح هذه المعادلة أن معدل الرش يعتمد على الخصائص الفيزيائية للمادة المستهدفة والطاقة المطبقة أثناء عملية الرش. ثم تشكل الذرات المنبثقة طبقة رقيقة على الركيزة، ويتأثر معدل الترسيب بمدى كفاءة انتقال هذه الذرات من الهدف إلى الركيزة.
الخواص الفيزيائية للمادة المستهدفة:
