التبخير في الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هو عملية يتم فيها تحويل المادة المراد ترسيبها كفيلم إلى طور بخار عن طريق تسليط الحرارة على المادة المصدر، مما يؤدي إلى خضوعها للتبخر. يتم إجراء هذه العملية في بيئة عالية التفريغ لضمان انتقال الذرات أو الجزيئات المتبخرة إلى الركيزة بأقل قدر من التداخل من ذرات أو جزيئات الغاز الأخرى.
ملخص الإجابة:
ينطوي التبخير في عملية التبخير بالطباعة بالانبعاثات البفطاضية الفوتوفولطية على تسخين المادة المصدر لتحويلها إلى بخار، ثم يتم ترسيبها على الركيزة في بيئة عالية التفريغ. هذه الطريقة ضرورية لتحقيق طلاءات رقيقة عالية الجودة.
-
شرح تفصيلي:تسخين المادة المصدرية:
-
في عملية التبخير بالتقنية بالطباعة بالبطاريات البفديوكيميائية PVD، يتم تسخين المادة المصدرية باستخدام طرق مختلفة مثل التسخين بالمقاومة أو تبخير الحزمة الإلكترونية أو تبخير قوس الكاثود. يعتمد اختيار طريقة التسخين على خصائص المادة ومعدل الترسيب المطلوب. على سبيل المثال، يستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعًا إلكترونيًا عالي الشحنة لتسخين وتبخير المادة المستهدفة، وهو فعال بشكل خاص للمواد التي تتطلب درجات حرارة عالية للتبخير.
-
التبخير وضغط البخار:
-
عند تسخين المادة المصدر، تصل إلى درجة حرارة يصبح عندها ضغط بخارها كبيراً. يجب أن يتجاوز ضغط البخار عتبة (عادةً ما تكون أكبر من 1.5 باسكال) لتحقيق معدلات ترسيب عملية. ويُعد ضغط البخار هذا مقياسًا لميل المادة إلى التبخر وهو أمر حاسم لنقل المادة بكفاءة إلى الركيزة.بيئة عالية التفريغ:
تحدث عملية التبخير في غرفة عالية التفريغ. وتعد هذه البيئة ضرورية لأنها تقلل من متوسط المسار الحر للجسيمات المتبخرة، مما يسمح لها بالانتقال مباشرة إلى الركيزة دون تصادمات كبيرة مع الجسيمات الأخرى. ويضمن هذا النقل المباشر عملية ترسيب نظيفة وفعالة، مما يقلل من التلوث ويعزز جودة الفيلم المترسب.
الترسيب على الركيزة:
