يعد رش المعادن بالخرق عملية معقدة تنطوي على عدة خطوات حاسمة.
شرح 7 خطوات رئيسية
1. إنشاء مجال كهربائي عالٍ
يتم إنشاء مجال كهربائي عالٍ حول المادة المصدر أو الهدف محل الاهتمام.
2. تشكيل البلازما
يساعد هذا المجال الكهربائي على تكوين بلازما.
3. إدخال غاز خامل
يتم توجيه غاز خامل، مثل النيون أو الأرجون أو الكريبتون، إلى غرفة تفريغ تحتوي على مادة الطلاء المستهدفة والركيزة.
4. تأيين ذرات الغاز
يرسل مصدر طاقة موجة نشطة عبر الغاز لتأيين ذرات الغاز، مما يعطيها شحنة موجبة.
5. جذب الأيونات الموجبة
تجذب المادة المستهدفة سالبة الشحنة الأيونات الموجبة.
6. التصادم والإزاحة
يحدث التصادم، حيث تقوم الأيونات الموجبة بإزاحة ذرات الهدف.
7. الإزاحة والترسيب
تتفكك ذرات الهدف المزاحة إلى رذاذ من الجسيمات التي "تتناثر" وتعبر غرفة التفريغ. تهبط هذه الجسيمات المتناثرة على الركيزة وتترسب كطبقة رقيقة.
يعتمد معدل الاخرق على عوامل مختلفة، بما في ذلك التيار وطاقة الحزمة والخصائص الفيزيائية للمادة المستهدفة.
الاخرق هو عملية فيزيائية حيث يتم إطلاق الذرات في هدف في الحالة الصلبة وتنتقل إلى المرحلة الغازية عن طريق القصف بأيونات نشطة، وخاصة أيونات الغازات النبيلة.
ويُستخدم عادةً في ترسيب الرذاذ، وهي تقنية طلاء عالية التفريغ، ولإعداد أسطح عالية النقاء وتحليل التركيب الكيميائي للسطح.
في الرش بالمغنترون المغنطروني، يتم إدخال تدفق غاز محكوم، عادة ما يكون الأرجون، في غرفة تفريغ.
يجذب الكاثود المشحون كهربائياً، وهو سطح الهدف، ذرات الهدف داخل البلازما.
تتسبب التصادمات داخل البلازما في إزاحة الأيونات النشطة للجزيئات من المادة، والتي تعبر بعد ذلك غرفة التفريغ وتغطي الركيزة لإنشاء طبقة رقيقة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات تفريغ عالية الجودة لمختبرك؟لا تبحث أكثر من KINTEK! ستضمن لك غرف التفريغ ومصادر الطاقة المتطورة لدينا عمليات رش دقيقة وفعالة.اتصل بنا اليوم للارتقاء بأبحاثك وتطويرك من خلال حلولنا الموثوقة والمبتكرة.
