عادةً ما يكون تردد التردد اللاسلكي للرش هو 13.56 ميجاهرتز. يتم اختيار هذا التردد لعدة أسباب:
-
التوافق مع نطاقات ISM: يقع التردد 13.56 ميجاهرتز ضمن النطاقات الراديوية الصناعية والعلمية والطبية (ISM)، وهي نطاقات محجوزة عالميًا للاستخدام غير التجاري لمنع التداخل مع خدمات الاتصالات السلكية واللاسلكية. ويسمح هذا التوحيد القياسي بالاستخدام الواسع النطاق والمتسق لتقنية رش الترددات اللاسلكية دون تعارضات تنظيمية.
-
التفاعل الأيوني الفعال: عند التردد 13.56 ميجاهرتز، يكون التردد منخفضًا بما يكفي للسماح بوقت كافٍ لنقل أيونات الأرغون إلى المادة المستهدفة خلال كل دورة. وهذا أمر بالغ الأهمية لفعالية الاهتزاز، لأنه يضمن أن الأيونات لديها ما يكفي من الوقت للتأثير على الهدف وإزاحة الجسيمات دون أن تكون سريعة للغاية بحيث لا تتفاعل بفعالية.
-
تذبذب الإلكترون ومعدل البلازما: كما أن التردد مرتفع بما فيه الكفاية لتمكين الإلكترونات من التذبذب داخل البلازما، مما يؤدي إلى ارتفاع كثافة البلازما. ويسمح هذا المعدل العالي للبلازما بضغوط تشغيل أقل (10^-1 إلى 10^-2 باسكال)، مما قد يؤدي إلى ترسيب أغشية رقيقة ذات بنى مجهرية مختلفة مقارنة بتلك التي تنتج عند ضغوط أعلى.
-
تجنب تراكم الشحنات: في الاخرق بالترددات اللاسلكية، يساعد الجهد الكهربائي المتناوب على منع تراكم الشحنات على المادة المستهدفة، خاصة بالنسبة للمواد العازلة. وهذا أمر بالغ الأهمية حيث يمكن أن يؤدي تراكم الشحنات إلى حدوث تقوس كهربائي ومشكلات أخرى تتعلق بمراقبة الجودة في عملية الاخرق.
وباختصار، فإن استخدام التردد 13.56 ميجا هرتز في عملية الاخرق بالترددات اللاسلكية هو نتيجة لتوازنه الأمثل بين السماح بالقصف الأيوني الفعال ومنع تراكم الشحنات الكهربائية على الهدف، كل ذلك مع الامتثال للوائح الترددات اللاسلكية الدولية. هذا التردد فعال بشكل خاص في رش كل من المواد الموصلة وغير الموصلة للكهرباء على حد سواء، مما يجعلها تقنية متعددة الاستخدامات ومستخدمة على نطاق واسع في ترسيب الأغشية الرقيقة.
اكتشف الكفاءة والموثوقية الفائقة لمعدات الرش بالترددات اللاسلكية من KINTEK SOLUTION - المصممة لتحقيق الدقة والمصممة لتحقيق أقصى قدر من الإنتاجية. مع تقنيتنا 13.56 ميجاهرتز، ستحقق نتائج ترسيب الأغشية الرقيقة المثلى على المواد الموصلة وغير الموصلة، كل ذلك مع الالتزام بمعايير نطاق الترددات اللاسلكية ISM العالمية. أطلق العنان لإمكاناتك الكاملة في معالجة الأغشية الرقيقة اليوم وارتقِ بقدراتك البحثية والتصنيعية مع KINTEK SOLUTION. تعرف على المزيد حول أنظمة رش الرقائق اللاسلكية المتقدمة وسبب كونها الخيار المفضل في الصناعة للأغشية الرقيقة عالية الجودة.
